[发明专利]载荷转换器有效
申请号: | 201810926393.7 | 申请日: | 2018-08-14 |
公开(公告)号: | CN109406015B | 公开(公告)日: | 2023-02-28 |
发明(设计)人: | 冈本拓磨 | 申请(专利权)人: | 美蓓亚三美株式会社 |
主分类号: | G01L1/22 | 分类号: | G01L1/22 |
代理公司: | 北京思益华伦专利代理事务所(普通合伙) 11418 | 代理人: | 常殿国;郭红丽 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 载荷 转换器 | ||
提供一种即使在小型化了的情况下也能防止由过载引起的破损的载荷转换器。单元体(2)具有:一对梁部(40、50);和止挡部(60),其设置于一对梁部(40、50)之间,限制可动部(30)的变位。一对梁部(40、50)分别具有:设置于固定部(20)侧的固定部侧应变部(41、51),和设置于可动部(30)侧的可动部侧应变部(42、52)。止挡部(60)具有:止挡突出部(70),其从固定部(20)向可动部(30)侧延伸;和一对止挡抵接部(81、82),它们形成得能在一对梁部(40、50)侧分别抵接止挡突出部(70)。一对止挡抵接部(81、82)设置于一对梁部(40、50)的固定部侧应变部(41、51)与可动部侧应变部(42、52)之间。
技术领域
本发明涉及载荷转换器,特别,涉及用于将载荷转换为电信号的载荷转换器。
背景技术
以往,在秤等计量装置中,使用了具有罗伯威尔(ロバーバル)机构的罗伯威尔型的负载传感器的计量装置广泛为人所知。这样的计量装置具有用于将载荷转换成电信号的载荷转换器,载荷转换器具有作为罗伯威尔型的应变体而使用的金属制的单元体。该单元体具有中空的对称形状(例如,参照专利文献1。)。另外,罗伯威尔型的称重传感器不仅被使用于上述那样的计量装置,在使用于线锯工作方案的线锯中,也被使用于检测线材的张力。所谓线锯工作方案,是物品的切断工作方案的一种,不受钢筋混凝土等复杂形状的物品和/或水中构造物、较窄的场所、高处等对象物和/或其状态限制,无振动、低噪音且粉尘也少,能够根据现场条件进行机械配置且能够在自由的方向上切断。另外,线锯工作方案也被使用于半导体晶锭和/或半导体晶圆的加工。
专利文献1:日本特开2001-083024号公报
近年来,这样的线锯工作方案的加工对象扩大到半导体晶锭和/或半导体晶圆那样的较小的对象,使用于线锯工作方案的线锯也不断小型化。因此,使用于线锯的罗伯威尔型的载荷转换器也要求小型化。
伴随着罗伯威尔型的载荷转换器的小型化,单元体变薄,担心单元体的强度,特别,由于在固定单元体时通过栓销等而外加于单元体的载荷,具有单元体破损的危险。这样,相对于以往使用于线锯工作方案的罗伯威尔型的载荷转换器的单元体,要求一种能够防止破损的产生的构造。
发明内容
本发明是鉴于上述的技术问题而完成的,其目的在于提供一种即使在小型化了的情况下也能够防止由过载引起的破损的载荷转换器。
为了达成上述目的,本发明所涉及的载荷转换器,其特征在于,具备:单元体;和被安装于该单元体的应变仪;所述单元体具有:固定部,其被固定于支撑构件;可动部,其与所述固定部对向(相对),从外部接受载荷;一对梁部,它们在所述固定部与所述可动部之间延伸,互相对向;和止挡部,其被设置于所述一对梁部之间,限制所述可动部的变位;所述一对梁部分别具有:被设置于所述固定部侧的固定部侧应变部;和被设置于所述可动部侧的可动部侧应变部;所述止挡部具有:止挡突出部,其从所述固定部向所述可动部侧延伸;和一对止挡抵接部,它们被形成得能够在一对梁部侧分别相对于该止挡突出部抵接;所述一对止挡抵接部被设置于所述一对梁部的所述固定部侧应变部与所述可动部侧应变部之间。
在本发明的一个技术方案所涉及的载荷转换器中,所述止挡部在所述可动部侧具有收纳所述止挡突出部的止挡收纳部,该止挡收纳部具有所述一对止挡抵接部。
在本发明的一个技术方案所涉及的载荷转换器中,在所述止挡收纳部中,在所述止挡突出部的所述可动部侧形成有空间。
在本发明的一个技术方案所涉及的载荷转换器中,所述一对止挡抵接部能够抵接于所述止挡突出部的前端部分。
在本发明的一个技术方案所涉及的载荷转换器中,所述止挡突出部具有隔着间隙而与所述一对止挡抵接部分别对向的一对止挡突出部抵接部。
在本发明的一个技术方案所涉及的载荷转换器中,所述固定部以及所述可动部为圆盘状的法兰。
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