[发明专利]一种激光切割装置和方法

权利要求书

1.一种激光切割装置，其特征在于，包括：

第一光源，用于出射第一激光，所述第一激光包括多个脉冲组，每个所述脉冲组包括一个或多个脉冲串，每个所述脉冲串又包括一个或多个激光脉冲；

运动平台，用于承载待切割样品并带动所述待切割样品运动，以使所述第一激光沿预设轨迹对所述待切割样品进行切割，并使所述脉冲串在所述预设轨迹的预设切割点处形成实际切割点；

控制器，用于控制相邻的两个所述脉冲组之间的间隔时间，使所述间隔时间随所述运动平台带动所述待切割样品在相邻的两个所述预设切割点之间的运动时间变化而变化，以使任意两组相邻的所述实际切割点之间的距离相等。

2.根据权利要求1所述的切割装置，其特征在于，所述控制器还用于控制同一所述脉冲组内相邻的两个所述脉冲串之间的间隔时间等于预设间隔时间，同一脉冲组内不同脉冲串之间的间隔时间相等或不相等。

3.根据权利要求1或2所述的切割装置，其特征在于，所述脉冲组包括的所述脉冲串的个数的范围为1～5；所述脉冲串包括的所述脉冲的个数的范围为1～10。

4.根据权利要求1或2所述的切割装置，其特征在于，任意两组相邻的脉冲组形成的实际切割点之间的距离在2um～30um的范围内，包括端点值；

同一脉冲组内相邻的脉冲串形成的实际切割点之间的距离在1um～10um的范围内，包括端点值。

5.根据权利要求1所述的切割装置，其特征在于，所述第一光源包括第一激光器以及依次设置在所述第一激光器出光光路上的光束整形系统和第一聚光镜；

所述第一激光器用于发出第一激光，所述第一激光为高斯光束；

所述光束整形系统用于将所述高斯光束转换为贝塞尔光束；

所述第一聚光镜用于将所述贝塞尔光束聚焦到所述待切割样品上，以使所述贝塞尔光束对所述待切割样品进行切割。

6.根据权利要求5所述的切割装置，其特征在于，所述第一激光器为皮秒激光器或飞秒激光器，且所述皮秒激光器或飞秒激光器为具有脉冲串功能的激光器。

7.根据权利要求5或6所述的切割装置，其特征在于，还包括第二光源；

所述第二光源用于出射第二激光，并使所述第二激光沿着所述预设轨迹对所述待切割样品进行二次切割，以切断分离所述待切割样品。

8.根据权利要求7所述的切割装置，其特征在于，所述第二光源包括第二激光器以及依次设置在所述第二激光器出光光路上的扫描振镜和平场镜；

所述第二激光器用于发出所述第二激光；

所述扫描振镜用于对所述第二激光进行反射；

所述平场镜用于将所述第二激光聚焦到所述待切割样品上。

9.一种激光切割方法，其特征在于，应用于权利要求1～8任一项所述的激光切割装置，包括：

第一光源出射第一激光，所述第一激光包括多个脉冲组，每个所述脉冲组包括一个或多个脉冲串，每个所述脉冲串又包括一个或多个激光脉冲；

运动平台带动承载的待切割样品运动，以使所述第一激光沿预设轨迹对所述待切割样品进行切割，并使所述脉冲串在所述预设轨迹的预设切割点处形成实际切割点；

控制器控制相邻的两个所述脉冲组之间的间隔时间，使所述间隔时间随所述运动平台带动所述待切割样品在相邻的两个所述预设切割点之间的运动时间变化而变化，以使任意两组相邻的所述实际切割点之间的距离相等。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，还包括：

所述控制器控制同一所述脉冲组内相邻的两个所述脉冲串之间的间隔时间等于预设间隔时间，同一脉冲组内不同脉冲串之间的间隔时间相等或不相等。