[发明专利]一种蒸镀掩膜板与玻璃的贴合间隙确定方法、装置及设备

说明书

本申请公开了一种蒸镀掩膜板与玻璃的贴合间隙确定方法、装置及设备，涉及显示技术，在蒸镀掩膜板与玻璃贴合后，确定蒸镀掩膜板贴近玻璃的表面的各个部位与玻璃表面的第一间隙；在蒸镀掩膜板的平坦局部与玻璃贴合后，确定蒸镀掩膜板贴近玻璃的表面与玻璃同一表面的第二间隙；确定蒸镀掩膜板各个部位与玻璃的贴合间隙为所述第一间隙减去所述第二间隙的差值。确定了蒸镀掩膜板各个部位与玻璃的贴合间隙后，即可根据该贴合间隙在生产过程中在产品蒸镀前可以根据Gap(间隙)分析结果提前判定产品不良类型及比率，从而大幅降低蒸镀成本并提高不良改善效率。

技术领域

本公开一般涉及显示技术，尤其涉及蒸镀掩膜板与玻璃的贴合间隙确定方法、装置及设备。

背景技术

平板显示包括LCD显示，OLED显示、PDP显示、电子墨水显示等多种，其中，OLED显示具有轻薄，低功耗，高对比度，高色域，可以实现柔性显示等优点，是下一代显示器的发展趋势。OLED显示的实现方式为LTPS背板+精细金属掩膜(FMM Mask)，现在LTPS背板+FMM Mask的方式已经初步成熟，实现了量产。

精细金属掩膜(FMM Mask)模式，是通过蒸镀方式将OLED材料按照预定程序蒸镀到LTPS背板上，利用FMM上的图形，形成红绿蓝器件。现在应用于AMOLED的金属蒸镀掩膜板，由于玻璃下垂量远大于FMM下垂量，且玻璃的下沉形态与FMM下沉形态不同，蒸镀过程中当玻璃与Mask贴合时不可避免的发生FMM有效区与玻璃间的间隙过大以及因FMM褶皱在压合过程未舒展导致的间隙等问题；因FMM与玻璃贴合Gap异常而导致的不良主要为蒸镀Shadow增加形成的像素混叠，也会产生混色，这是目前OLED蒸镀工艺中最主要的不良同时也是最难解决的工艺问题。

目前，由于蒸镀工艺限制还无法获得FMM与玻璃贴合时的间隙及形态，只能依靠蒸镀后产品相关不良状况去猜想FMM与玻璃贴合间隙的状况，然而这不仅限制了在对蒸镀工艺变更时的准确分析依据，而且也会大大降低对相关不良改善的效率，降低产品良率，增加生产成本。

发明内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种蒸镀掩膜板与玻璃的贴合间隙确定方法、装置及设备，以实现蒸镀掩膜板与玻璃的贴合间隙的确定。

第一方面，本发明实施例提供一种蒸镀掩膜板与玻璃的贴合间隙确定方法，包括：

在蒸镀掩膜板与玻璃贴合后，确定蒸镀掩膜板贴近玻璃的表面的各个部位与玻璃表面的第一间隙；

在蒸镀掩膜板的平坦局部与玻璃贴合后，确定蒸镀掩膜板贴近玻璃的表面与玻璃同一表面的第二间隙；

确定蒸镀掩膜板各个部位与玻璃的贴合间隙为所述第一间隙减去所述第二间隙的差值。

进一步，所述玻璃为具有透明图案的玻璃。

更进一步，所述透明图案通过钼制作的图案。

更进一步，所述玻璃上的透明图案均匀设置，每个图案大小为10μm～25μm，相邻图案间距为20μm～30μm。

进一步，所述玻璃表面为玻璃的上表面或者玻璃的下表面。

进一步，所述在蒸镀掩膜板与玻璃贴合后，确定蒸镀掩膜板贴近玻璃的表面的各个部位与玻璃表面的第一间隙，包括：

在蒸镀掩膜板与玻璃贴合后，确定蒸镀掩膜板贴近玻璃的表面的各个部位相对参考平面的绝对高度以及玻璃表面相应部位相对参考平面的绝对高度；

确定蒸镀掩膜板各个部位与玻璃表面的第一间隙为，蒸镀掩膜板贴近玻璃的表面的各个部位相对参考平面的绝对高度与玻璃表面相应部位相对参考平面的绝对高度的差值；

所述在蒸镀掩膜板的平坦局部与玻璃贴合后，确定蒸镀掩膜板贴近玻璃的表面与玻璃同一表面的第二间隙，包括：