[发明专利]一种太阳能电池硅片镀膜用石墨舟有效
| 申请号： | 201810930847.8 | 申请日： | 2018-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN109148343B | 公开（公告）日： | 2020-02-18 |
| 发明（设计）人： | 许成德;陈健生;李鑫 | 申请（专利权）人： | 横店集团东磁股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18;C23C16/458 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人： | 尉伟敏 |
| 地址： | 322118 *** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 硅片 镀膜 石墨 | ||
【权利要求书】：
1.一种太阳能电池硅片镀膜用石墨舟，其特征在于：其由石墨舟叶、陶瓷固定柱、石墨固定块和石墨螺母；所述的石墨舟叶的上下边缘各设有一排固定孔，所述的陶瓷固定柱通过固定孔将若干石墨舟叶固定在一起；所述的石墨固定块设于石墨舟叶的两端，所述的石墨螺母设于陶瓷固定柱和石墨固定块的两端；所述的陶瓷固定柱上设有支撑圈支撑相邻石墨舟片，所述支撑圈由陶瓷圈和石墨圈组成，其中陶瓷圈和石墨圈间隔排列或将陶瓷圈、石墨圈按类排列。
2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池硅片镀膜用石墨舟，其特征在于：
所述的支撑圈由两端的石墨圈和中间的陶瓷圈组成。
3.根据权利要求1所述的一种太阳能电池硅片镀膜用石墨舟，其特征在于：
所述的支撑圈由两端的陶瓷圈和中间的石墨圈组成。
4.根据权利要求1所述的一种太阳能电池硅片镀膜用石墨舟，其特征在于：
所述支撑圈的长度为5～20mm。
5.根据权利要求1所述的一种太阳能电池硅片镀膜用石墨舟，其特征在于：
所述陶瓷圈的长度为1～10mm，厚度为0.1～2.0mm；所述石墨圈的长度为1～10mm，厚度为0.1～2.0mm。
6.根据权利要求1所述的一种太阳能电池硅片镀膜用石墨舟，其特征在于：
所述固定孔中，上边缘固定孔水平间距为下边缘固定孔水平间距的2倍。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于横店集团东磁股份有限公司，未经横店集团东磁股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201810930847.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
