[发明专利]一种介入式光纤传感探头在审
| 申请号： | 201810932139.8 | 申请日： | 2018-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN109186642A | 公开（公告）日： | 2019-01-11 |
| 发明（设计）人： | 刘智超 | 申请（专利权）人： | 长春理工大学 |
| 主分类号： | G01D5/26 | 分类号： | G01D5/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 130022 *** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 敏感薄膜 硼硅 反射膜 光纤传感探头 贴合设置 真空间隙 半球槽 保护层 介入式 整体反射率 玻璃 导光效果 一体相连 侧面 上端 槽口处 金属钛 | ||
【权利要求书】：
1.一种介入式光纤传感探头，其特征在于，包括玻璃头，所述玻璃头的前期设置有半球槽，所述半球槽的槽口处设置有第二硼硅敏感薄膜；所述第二硼硅敏感薄膜的内侧面贴合设置有第一硼硅敏感薄膜，第一硼硅敏感薄膜的内侧面贴合设置有反射膜，所述第一硼硅敏感薄膜与反射膜一体相连。
2.根据权利要求1所述的介入式光纤传感探头，其特征在于，所述第二硼硅敏感薄膜密封半球槽的槽口；所述第一硼硅敏感薄膜和所述反射膜之间设置有真空间隙。
3.根据权利要求1所述的介入式光纤传感探头，其特征在于，所述玻璃头远离第一硼硅敏感薄膜的一端固定连接有单模光纤。
4.根据权利要求1所述的介入式光纤传感探头，其特征在于，所述第一硼硅敏感薄膜和所述反射膜的上端设置有保护层，所述保护层由金属钛制成。
5.根据权利要求1所述的介入式光纤传感探头，其特征在于，所述反射膜为铝反射膜。
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