[发明专利]一种传输硅片的机械装置

权利要求书

1.一种传输硅片的机械装置，用于工艺制造时稳定高效地取送硅片，其特征在于，包括以下结构：

X轴驱动机构(1)，所述X轴驱动机构(1)上安装有Z轴驱动机构(2)，所述X轴驱动机构(1)可以带动所述Z轴驱动机构(2)沿X轴做水平直线运动；

Z轴驱动机构(2),所述Z轴驱动机构(2)上安装有Z轴旋转驱动机构(3)，所述Z轴驱动机构(2)可以带动所述Z轴旋转驱动机构(3)沿Z轴做上下垂直运动；

Z轴旋转驱动机构(3)，所述Z轴旋转驱动机构(3)上安装有两套独立的Y轴驱动机构(4)，所述Z轴旋转驱动机构(3)可以带动所述Y轴驱动机构(4)水平面旋转运动；

两套独立的Y轴驱动机构(4)，分别用于驱动第一手叉(5)和第二手叉(6)做水平伸缩运动；

校正装置(7)，安装在所述Z轴驱动机构(2)的壳体上，用于对所述硅片进行校正；所述校正装置(7)还包括旋转吸盘(7-1)，所述旋转吸盘(7-1)可做水平方向的定位运动；使用过程中，将硅片放置在旋转吸盘(7-1)后，校正装置(7)开始寻心，寻心完毕后，旋转吸盘(7-1)根据硅片圆心位置信息自动调整水平位置，将硅片圆心与手叉形心对正，然后第一手叉(5)根据反馈的圆心位置信息调整伸出距离，从而实现第一手叉(5)的形心与硅片圆心垂直方向对齐；以拥有更好的稳定性和更高的定位精度。

2.根据权利要求1所述的一种传输硅片的机械装置，其特征在于，所述X轴驱动机构(1)包括X轴驱动电机(20)和X轴直线导轨(19)，在所述X轴直线导轨(19)上安装有X轴滑块(18)，所述X轴滑块(18)与X轴负载平台(24)连接，在所述X轴负载平台(24)上安装有Z轴驱动机构(2)。

3.根据权利要求1所述的一种传输硅片的机械装置，其特征在于，所述Z轴驱动机构(2)包括垂直驱动电机(16)、垂直支架(15)、丝杠(14)、垂直导轨(17)和升降支架(13)；所述垂直驱动电机(16)固定于所述垂直支架(15)底部，通过所述丝杠(14)驱动所述升降支架(13)沿两所述垂直导轨(17)上下移动，在所述升降支架(13)上安装有Z轴旋转驱动机构(3)。

4.根据权利要求1所述的一种传输硅片的机械装置，其特征在于，所述Z轴旋转驱动机构(3)包括旋转驱动电机(12)、旋转传动装置(11)和旋转支架(21)，所述旋转驱动电机(12)通过所述旋转传动装置(11)驱动所述旋转支架(21)做旋转运动，在所述旋转支架(21)上安装有两套独立的Y轴驱动机构(4)。

5.根据权利要求1所述的一种传输硅片的机械装置，其特征在于，所述两套独立的Y轴驱动机构(4)分别包括Y轴水平驱动电机(22)、Y轴滑块(8)、Y轴直线导轨(10)、同步带(9)；所述Y轴水平驱动电机(22)通过所述同步带(9)驱动所述Y轴滑块(8)沿所述Y轴直线导轨(10)水平移动，所述第一手叉(5)和所述第二手叉(6)分别固定连接在两所述Y轴滑块(8)上。