[发明专利]用于片上矫正的红外测试系统及其测试方法在审
申请号: | 201810933030.6 | 申请日: | 2018-08-16 |
公开(公告)号: | CN108896190A | 公开(公告)日: | 2018-11-27 |
发明(设计)人: | 刘子骥;郭泽宇;徐灿明;张铭;石锦涛;王涛 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | G01J5/00 | 分类号: | G01J5/00 |
代理公司: | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232 | 代理人: | 敖欢;葛启函 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 矫正 红外探测器 系统控制 接口电路板 模块化仪器 红外测试 矩阵开关模块 数据采集模块 数据发送模块 计算机模块 测试 测量模块 电压信号 电源模块 控制模块 配置数据 数据分析 数字时序 效果反馈 远程控制 自动获取 矫正片 容错率 校准 半成品 追踪 驱动 | ||
本发明提供一种用于片上矫正的红外测试系统及测试方法,包括模块化仪器部分、系统控制部分和红外探测器接口电路板部分;模块化仪器部分包括远程控制某块、数字时序模块、数据发送模块、测量模块、矩阵开关模块、数据采集模块;系统控制部分包括计算机模块和电源模块;系统控制部分用于控制模块化仪器部分和为红外探测器接口电路板部分提供电压信号;本发明能够驱动多种成品及半成品红外探测器,能够实现自动获取和矫正片上矫正配置数据校准,有利于追踪片上矫正过程的数据,确保片上矫正过程的准确性;高效的完成片上矫正过程,能够通过片上矫正后的数据分析来完成片上矫正效果反馈,提高系统的容错率。
技术领域
本发明涉及红外探测器技术领域,特别涉及到一种用于片上矫正的红外测试系统及测试方法。
背景技术
红外探测器一般分为制冷型和非制冷型,能够对接收到的热辐射量做出反应并且转换为电信号进行输出,广泛的应用于工业,军事,医疗,安防及科学研究等多个领域。为保证探测器输出图像的效果,红外探测器一般会集成有片上矫正功能。
片上矫正是在像元对应的原始图像信号输出之前,对探测器的每个像元施加不同的偏置信号来降低阵列非均匀性的方法,与对探测器输出信号进行后处理的常用的非均匀性校正方法如两点法,多点法,人工神经网络法相比,实时性更高,并且矫正效果明显。近年来国内各厂商新推出的较大面阵的探测器也开始集成有片上矫正的功能。
现在的红外探测器测试系统大多数没有片上矫正测试功能,为适应今后探测器的片上矫正功能的增加,需要一套稳定可靠的测试系统及与其适配的测试方法。
发明内容
鉴于以上所述现有技术的缺点,本发明的目的在于提供一种稳定可靠的用于片上矫正的红外测试系统及测试方法。
为实现上述发明目的,本发明技术方案如下:
一种用于片上矫正的红外测试系统,包括模块化仪器部分、系统控制部分和红外探测器接口电路板部分;模块化仪器部分和系统控制部分的计算机模块连接;
模块化仪器部分包括远程控制某块、数字时序模块、数据发送模块、测量模块、矩阵开关模块、和数据采集模块;数字时序模块用于提供周期性时序信号,测量模块和矩阵开关模块配合来完成探测器片上矫正的前期数据采集及矫正,数据发送模块完成探测器片上矫正过程的矫正数据发送;数据采集模块用于采集红外探测器的输出电压数据,电压数据包括片上矫正过程中的反馈数据和片上矫正后的探测器输出电压数据;
系统控制部分包括计算机模块和电源模块;系统控制部分用于控制模块化仪器部分和为红外探测器接口电路板部分提供电压信号;
红外探测器接口电路板部分为能够承载红外探测器的定制接口电路板,用于接收探测器的驱动信号,片上矫正数据信号和发送探测器输出电压数据。
作为优选方式,红外探测器接口电路板适配半成品红外探测器或封装过后的成品红外探测器,其中,适配半成品红外探测器时选择尺寸匹配的探针台来完成晶圆级别的测试。
作为优选方式,系统控制部分的电源模块选用源测量单元SMU,SMU用于提供测量分辨率小于1mV的电压源,以及提供测量分辨率低于1uA的电流源;SMU提供远端检测功能并拥有集成了双极型电压和吸收功率能力的四象限输出功能;SMU提供线性扫描电压和扫描电流,能够获得仪器的IV特性曲线,用于对系统电压信号和偏压信号的精确控制和实时监测。
作为优选方式,测量模块选用高精度数字万用表,配合矩阵开关,在上位机软件端控制开关选通情况,满足自动测试需求。
作为优选方式,模块化仪器部分中的数字时序模块用于提供的周期性时序信号包括:复位信号,主频信号,行积分信号。
作为优选方式,测量模块和矩阵开关模块配合来完成探测器片上矫正的前期数据采集及矫正,矫正包括矩阵区域电阻矫正、偏压矫正。
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