[发明专利]一种常压脉冲辅助平板射频辉光放电的装置与方法

权利要求书

1.一种常压脉冲辅助平板射频辉光放电的装置，其特征在于，为一种等离子体放电反应器，其包括放电腔体(1)，放电腔体(1)内填充有放电气体；放电腔体(1)顶部设有进气口(2)，放电腔体(1)内设有与高压电源连接的上电极(3)及与射频电源连接的下电极(4)，上电极(3)与下电极(4)之间设有一对上下分布的介质板(5)，上方的介质板(5)与上电极(3)连接，下方的介质板(5)与下电极(4)连接。

2.如权利要求1所述的常压脉冲辅助平板射频辉光放电的装置，其特征在于，所述上电极(3)、下电极(4)为直径20mm的金属圆柱电极。

3.如权利要求1所述的常压脉冲辅助平板射频辉光放电的装置，其特征在于，所述介质板(5)的材质为氧化铝陶瓷片或石英玻璃片，其尺寸为400mm×400mm×1mm，介电常数为9.0。

4.如权利要求1所述的常压脉冲辅助平板射频辉光放电的装置，其特征在于，两片所述介质板(5)之间的距离为1-5mm。

5.如权利要求4所述的常压脉冲辅助平板射频辉光放电的装置，其特征在于，两片所述介质板(5)之间的距离为2.5mm。

6.如权利要求1所述的常压脉冲辅助平板射频辉光放电的装置，其特征在于，所述放电气体为氦气、氧气、氮气中的任意一种或几种的混合气体，放电气体流量为1.5-2.5SLM。

7.如权利要求6所述的常压脉冲辅助平板射频辉光放电的装置，其特征在于，所述放电气体流量为2SLM。

8.如权利要求1所述的常压脉冲辅助平板射频辉光放电的装置，其特征在于，所述等离子体放电反应器为介质阻挡放电等离子体反应器。

9.一种常压脉冲辅助平板射频辉光放电的方法，其特征在于，采用权利要求1-8任意一项所述的常压脉冲辅助平板射频辉光放电的装置，将放电气体从进气口(2)通入到放电腔体(1)中，先将上电极(3)上接脉冲电源形成脉冲放电；在脉冲放电结束后，再将下电极(4)上通经过脉冲调制的射频交流电使介质板(5)之间产生射频放电。

10.如权利要求9所述的常压脉冲辅助平板射频辉光放电的方法，其特征在于，所述脉冲放电的频率为100-50kHz，功率为10-1000W；脉冲调制的频率为100-50kHz；射频交流电的频率为2-13.56MHz，功率为5-1000W。