[发明专利]一种氮化硅陶瓷散热翅覆铜板及其制备方法有效
| 申请号： | 201810936404.X | 申请日： | 2018-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN108640701B | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 周涛 | 申请（专利权）人： | 南通通州湾新材料科技有限公司;周涛 |
| 主分类号： | C04B37/02 | 分类号： | C04B37/02;C04B35/587;C04B35/622;H01L23/367;H01L23/373 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 郭栋梁 |
| 地址： | 226333 江苏省南通市通州湾江海联*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氮化硅陶瓷 散热翅 金属导电层 覆铜板 氮化硅陶瓷层 制备 焊接 氮化硅陶瓷板 大功率IGBT 磁控溅射 金属硅层 金属铜板 散热效率 氧化铝层 过渡层 金属层 散热 铝板 封装 | ||
1.一种氮化硅陶瓷散热翅覆铜板，包括氮化硅陶瓷板，金属铝导电层，其特征在于：在氮化硅陶瓷层和金属铝导电层之间磁控溅射一层金属硅的过渡层，在过渡层上丝网印刷厚度为10um的Ti基金属活性钎料层，其中过渡层和Ti基金属活性钎料层作为中间层连接氮化硅陶瓷层和金属铝导电层，其中过渡层厚度为50nm～100nm；其中氮化硅陶瓷层远离金属铝导电层的一侧有散热翅；其中氮化硅陶瓷层厚度为0.5mm～2mm，金属铝层厚度为0.1mm～2.5mm。
2.根据权利要求1所述的氮化硅陶瓷散热翅覆铜板，其特征在于：散热翅为瓦楞形散热翅或者柱形散热翅。
3.根据权利要求2所述的氮化硅陶瓷散热翅覆铜板，其特征在于：散热翅为0.5mm～5mm。
4.一种氮化硅陶瓷散热翅覆铜板的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
a)制备带有散热翅的氮化硅陶瓷板；
b)在散热翅相反的氮化硅陶瓷板平面上磁控溅射金属硅的过渡层，在过渡层上丝网印刷厚度为10um的Ti基金属活性钎料层；
c)在氮化硅陶瓷板的过渡层上覆金属铝导电层；
其中过渡层厚度为50nm～100nm；其中氮化硅陶瓷层远离金属铝导电层的一侧有散热翅；其中氮化硅陶瓷层厚度为0.5mm～2mm，金属铝层厚度为0.1mm～2.5mm。
5.根据权利要求4所述的氮化硅陶瓷散热翅覆铜板的制备方法，其特征在于：散热翅为0.5mm～5mm，散热翅为瓦楞形散热翅或者柱形散热翅。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南通通州湾新材料科技有限公司;周涛，未经南通通州湾新材料科技有限公司;周涛许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
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