[发明专利]一种并行多区域成像装置

权利要求书

1.一种并行多区域成像装置，其特征在于，包括：多焦点生成模块、空间解调模块及探测模块；

所述多焦点生成模块，用于对照明光进行调制，以在物方产生多个焦点，形成多个不同的照明区域，进而通过待成像样品产生多路信号光；

所述空间解调模块，为带孔反射镜或数字微镜器件或空间光调制器，用于使各路信号光在空间上的能量分布不再重叠或重叠区域小于目标要求；

所述探测模块，用于对经所述空间解调模块后的各路信号光进行独立探测，以实现并行多区域成像；

其中，所述物方产生的多个焦点位于多焦点生成模块光轴方向上的不同位置。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，在所述多焦点生成模块和所述空间解调模块之间，所述装置还包括分光器；

所述分光器，用于将照明光和由待成像样品返回的信号光在空间上分离，以使所述多焦点生成模块输出的照明光传播至所述待成像样品，同时使自所述待成像样品返回的信号光传播至所述空间解调模块。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述分光器的分光方法包括按照波长分离、按照偏振态分离、按照空间位置分离及衰减式分离。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，在所述分光器之后，所述装置还包括扫描模块；

所述扫描模块，用于改变光束的传播方向、发散程度或汇聚程度，使得物镜物方的焦点或一维聚焦的线在空间中改变位置，从而进行扫描。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述扫描模块中的扫描器件包括反射式、透射式或衍射式。

6.根据权利要求4或5所述的装置，其特征在于，在所述扫描模块之后，所述装置还包括：中继光路；

所述中继光路，用于实现所述扫描模块与物镜的光瞳匹配，以在所述扫描模块的目标扫描范围内使得照明光均能进入到所述物镜中从而照明到所述待成像样品上。