[发明专利]一种预置引线式薄膜传感器的制作方法

权利要求书

1.一种预置引线式薄膜传感器的制作方法，其特征在于包括：

A、制作预置引线衬底：根据传感器的形状要求制作衬底模具，使衬底模具中衬底材料部分为空，引线部分为实；然后基于衬底模具获得衬底；将引线加入衬底中，并通过固化方式结合在一起，完成引线预置；再对衬底进行加工形成传感器衬底；

B2、将热电偶丝预置在传感器衬底中，采用直流磁控镀膜机在传感器衬底表面镀膜，形成热电偶结点，获得薄膜热电偶热流传感器；

所述获得薄膜热电偶热流传感器的具体方法为：

安装镀膜的靶，并选择靶材；

加工安装座，将传感器衬底固定在安装座上，再将安装座摆放在直流磁控镀膜机真空室内的样品台上；

启动真空泵，将所述真空室内以10-9000升/秒的初始抽速抽真空到1～5×10^-4Pa；然后开启减压板，降低抽速到初始抽速的50％～30％，持续充入氩气达到1～8×10^-1Pa；

使样品台或靶以5～20圈/分钟的速度旋转；并使直流磁控镀膜机对传感器衬底进行稳定溅射，对传感器衬底表面镀膜，形成热电偶结点；

然后关闭直流磁控镀膜机并停止充氩气，继续以初始抽速的50％～30％对真空室抽真空，持续10～60分钟；

取出传感器衬底，加温烘烤持续预定时间段后，使其自然冷却，获得薄膜热电偶热流传感器；其中，对传感器衬底表面镀铂膜时，加温烘烤的温度为600℃；

其中所述预定时间段根据镀膜的靶材确定。

2.根据权利要求1所述的预置引线式薄膜传感器的制作方法，其特征在于：

所述引线材料与热电偶材料相同。

3.根据权利要求1至2中任一项所述的预置引线式薄膜传感器的制作方法，其特征在于：

步骤A中所述对衬底进行加工包括对衬底进行打磨并抛光。

4.根据权利要求1至2中任一项所述的预置引线式薄膜传感器的制作方法，其特征在于：

步骤A中所述的传感器衬底还要经过清洗的步骤，所述清洗包括：

依次采用汽油、洗衣粉、一遍纯水、稀硫酸、二遍纯水、酒精、超声波和等离子清洗传感器衬底。

5.根据权利要求4所述的预置引线式薄膜传感器的制作方法，其特征在于：

所述稀硫酸需要被加热至80～120℃，清洗时间为30～60分钟。

6.根据权利要求1所述的预置引线式薄膜传感器的制作方法，其特征在于：所述靶材材料包括铂、钯、金、镍、铜或热电偶材料。