[发明专利]用于太阳电池制造的7腔体立式PECVD-PVD一体化设备在审
| 申请号： | 201810938146.9 | 申请日： | 2018-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN110838529A | 公开（公告）日： | 2020-02-25 |
| 发明（设计）人： | 黄振;黄海宾;周浪;彭德香;任栋梁;刘超 | 申请（专利权）人： | 中智（泰兴）电力科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/67;C23C16/50;C23C16/24;C23C16/54;C23C14/35;C23C14/08;C23C14/56 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 张斌 |
| 地址： | 225400 江苏省泰州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 太阳电池 制造 立式 pecvd pvd 一体化 设备 | ||
1.一种用于太阳电池制造的7腔体立式PECVD-PVD一体化设备，其特征在于：包括真空预加热上料腔体、本征非晶硅薄膜沉积PECVD腔体、掺杂非晶硅薄膜沉积PECVD腔体、第一TCO薄膜沉积PVD腔体、第二TCO薄膜沉积PVD腔体、第三TCO薄膜沉积PVD腔体和下料腔体，上述各腔体之间通过真空锁依次连接，真空预加热上料腔体进料口和下料腔体的出料口同样设置真空锁，一移动装置由前至后穿接各腔体和真空锁，本征非晶硅薄膜沉积PECVD腔体、掺杂非晶硅薄膜沉积PECVD腔体、第一TCO薄膜沉积PVD腔体、第二TCO薄膜沉积PVD腔体、第三TCO薄膜沉积PVD腔体均为立式结构，真空预加热上料腔体内设立式载板，立式载板设置于移动装置上呈在本一体化设备中由前至后可移动状态，第二TCO薄膜沉积PVD腔体内设溅射靶，下料腔体外接氮气或洁净空气系统。
2.根据权利要求1所述的用于太阳电池制造的7腔体立式PECVD-PVD一体化设备，其特征在于：所述移动装置为推料进给轨道或移动轨道或移动挂架。
3.根据权利要求1所述的用于太阳电池制造的7腔体立式PECVD-PVD一体化设备，其特征在于：本征非晶硅薄膜沉积PECVD腔体、掺杂非晶硅薄膜沉积PECVD腔体、第一TCO薄膜沉积PVD腔体、第二TCO薄膜沉积PVD腔体、第三TCO薄膜沉积PVD腔体外接超纯气路系统和/或加热系统和/或冷却水系统和/或抽真空系统。
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