[发明专利]磁传感器

说明书

本发明提供一种磁传感器，其具备：磁场转换部、磁场检测部、磁性膜。磁场转换部包含磁轭，所述磁轭接受包含平行于Z向的方向的输入磁场成分的输入磁场，产生包含平行于X向的方向的输出磁场成分的输出磁场。磁场检测部包含磁检测元件，所述磁检测元件接受输出磁场，生成对应于输出磁场成分的检测值。磁性膜吸收输出磁场成分以外的磁检测元件具有灵敏度的方向的磁场即噪声磁场的磁通的一部分。

技术领域

本发明涉及磁传感器，其能够使用磁检测元件，来检测磁检测元件具有灵敏度的方向以外的方向的磁场。

背景技术

近年来，有时在手机等移动体通信设备内组装有地磁传感器。作为这种用途的地磁传感器，要求小型且能够检测外部磁场的三维方向。这种地磁传感器例如通过使用磁传感器来实现。作为磁传感器，已知有设置于基板上的多个磁检测元件的磁传感器。作为磁检测元件，例如可使用磁阻效应元件。

设置于基板上的磁检测元件大多以检测平行于基板面的方向的磁场的方式构成。在使用磁传感器来实现地磁传感器的情况下，需要使用能够检测垂直于基板面的方向的磁场的磁传感器。

日本国专利申请公开2015－203647公报记载有使用检测平行于基板面的方向的磁场的磁阻效应元件就能够检测垂直于基板面的方向的磁场的磁传感器。该磁传感器具备软磁性体，所述软磁性体将垂直于基板面的方向的垂直磁场成分转换为平行于基板面的方向的水平磁场成分，并将该水平磁场成分施加于磁阻效应元件。

在如日本国专利申请公开2015－203647公报记载的磁传感器那样具备：磁阻效应元件等的磁检测元件、和将垂直磁场成分转换为水平磁场成分的软磁性体的磁传感器中，在除施加了由软磁性体将垂直磁场成分转换而得到的水平磁场成分以外，还施加平行于基板面的方向的磁场时，磁检测元件也检测该磁场。因此，在该磁传感器中，上述水平磁场成分以外的平行于基板面的方向的磁场会作为噪声磁场发挥作用，存在磁检测元件的检测值包含由噪声磁场引起的噪声成分之类的问题点。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种磁传感器，其将规定方向的输入磁场成分转换为磁检测元件具有灵敏度的方向的输出磁场成分，并将其施加于磁检测元件，能够抑制输出磁场成分以外的磁检测元件具有灵敏度的方向的磁场即噪声磁场施加于磁检测元件。

本发明第一及第二观点的磁传感器具备：磁场转换部、磁场检测部、由软磁性体构成的磁性膜。所述磁场转换部包含由软磁性体构成的至少1个磁轭。至少1个磁轭接受包含平行于第一假想直线的方向的输入磁场成分的输入磁场，并产生输出磁场。输出磁场包含平行于与第一假想直线交叉的第二假想直线的方向的输出磁场成分，即，包含对应于输入磁场成分而变化的输出磁场成分。磁场检测部包含至少1个磁检测元件。至少1个磁检测元件接受输出磁场，并生成对应于输出磁场成分的检测值。至少1个磁轭具有位于与第一假想直线平行的方向的两端的第一端和第二端。第一端比第二端更接近至少1个磁检测元件。至少1个磁检测元件具有位于与第一假想直线平行的方向的两端的第三端和第四端。第四端比第三端更接近至少1个磁轭。

在本发明第一观点的磁传感器中，在假设了：包含第一端且与第一假想直线交叉且平行于第二假想直线的第一假想平面、和包含第四端且平行于第一假想平面的第二假想平面时，磁性膜位于从第一假想平面到第二假想平面为止的空间性的范围内。至少1个磁轭具有平行于第二假想直线的方向的尺寸即宽度。磁性膜具有：平行于第一假想直线的方向的尺寸即厚度、和平行于第二假想直线的方向的尺寸即宽度。磁性膜的厚度比至少1个磁轭的宽度小。磁性膜的宽度比至少1个磁轭的宽度大。

在本发明第一观点的磁传感器中，磁性膜也可以与至少1个磁轭的第一端相接。或者，本发明第一观点的磁传感器也可以还具备非磁性膜，所述非磁性膜由非磁性材料构成，将至少1个磁轭与磁性膜隔开。