[发明专利]一种周长毫米级元件共晶焊接装置及焊接方法有效

专利信息
申请号: 201810940681.8 申请日: 2018-08-17
公开(公告)号: CN109256337B 公开(公告)日: 2020-02-11
发明(设计)人: 李寿胜;夏俊生;臧子昂 申请(专利权)人: 北方电子研究院安徽有限公司
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48;B23K1/20;B23K1/008
代理公司: 34113 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 代理人: 陈俊
地址: 233000 安徽省*** 国省代码: 安徽;34
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 键合 共晶焊接 定位孔 过渡片 焊接 矩形定位槽 焊接元件 上定位槽 下定位槽 烧结 定位板 毫米级 共晶 取件 压块 周长 预处理 底板 半导体管芯 底板板面 定位板板 高度一致 焊接装置 基板放置 键合工艺 陶瓷基板 位置分布 压板底面 成品率 阶梯槽 粗丝 焊片 嵌设 取用 容置 压板 清洗 平整 检验 配合
【权利要求书】:

1.一种毫米级元件共晶焊接装置,其特征在于,包括底板,底板板面设有一组矩形定位槽,矩形定位槽包含相连通构成阶梯槽的上定位槽与下定位槽,下定位槽用于容置陶瓷基板;所述焊接装置还包括定位板与压板,定位板能够嵌设于上定位槽内,定位板板面一组定位孔,定位孔按照待焊接元件的位置分布;所述压板底面设有一组压块,压块与定位孔一一对应配合;所述定位板板面还设有过渡片开口。

2.一种毫米级元件共晶焊接方法,其特征在于,包括以下步骤:

S1、预处理,

对陶瓷基板进行打磨处理;对焊片进行打磨处理、酒精超声清洗或等离子清洗;同时对权利要求1所述的毫米级元件共晶焊接装置进行超声清洗;

S2、焊片的取用,

将焊片切成与待焊接芯片尺寸相适应;

S3、基板放置,

将陶瓷基板平放权利要求1所述下定位槽内,然后在陶瓷基板上再放置定位板;

S4、待焊接元件放置,

在陶瓷基板对应焊盘中央放置焊片,再将待焊接芯片放置在焊片中央,然后放置压板,压板的压块与待焊接芯片相对应;

S5、共晶烧结,

将步骤S4装配好的焊接组件移入气氛共晶炉中,按照共晶焊程序进行共晶焊;

S6、取件,

将完成共晶焊接的焊接组件从气氛共晶炉内取出,依次卸下压板、定位板、陶瓷基板;

S7、焊盘预上锡,

采用手工电焊膏或焊膏滴注的方式在陶瓷基板上需焊接过渡片的位置点焊膏,采用热板再流焊或回流焊的方式使焊膏熔化附着在焊盘上;

S8、键合过渡片放置,

将陶瓷基板平放权利要求1所述下定位槽内,然后在陶瓷基板上再放置定位板;将键合过渡片逐一放置在定位板的开口内,再放置压板;

S9、键合过渡片共晶烧结,

将步骤S7装配好的焊接组件移入气氛共晶炉中,按照共晶焊程序进行共晶焊;

S10、取件,

将完成共晶焊接的焊接组件从气氛共晶炉内取出,依次卸下压板、定位板、陶瓷基板;

S11、清洗,

对已完成气氛共晶的陶瓷基板进行清洗,去除助焊剂及多余物。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北方电子研究院安徽有限公司,未经北方电子研究院安徽有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201810940681.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top