[发明专利]测量设备及测量方法

说明书

本发明公开一种测量设备及方法，所述测量设备，包括用于放置待测物的置物台，还包括，二维检测装置，设于所述置物台上方，用于检测待测物的位置信息；三维检测装置，用于对待测物进行三维坐标检测；移动平台，包括平移面，用于使三维检测装置与置物台沿平行于平移面的方向相对平移；第一旋转台，用于使置物台绕垂直于平移面的转轴旋转。本发明中，二维检测装置检测待测物的位置信息，第一旋转台和/或移动平台根据位置信息移动来调整待测物与三维检测装置的相对位置，使待测物到达相对的预设位置处，三维检测装置再对待测物进行三维坐标检测，由于对待测物放置位置进行精准对位，保证检测的准确性，且能够提高检测速率。

技术领域

本发明涉及检测技术领域，尤其提供一种测量设备及测量方法。

背景技术

随着现代工业的发展，精密加工被应用到越来越多的领域，人们对加工精度提出了更高的要求。为了满足加工精度要求，提高加工样品合格率，人们常对加工过程及加工成品进行形貌畸变测试，以确保畸变在允许范围内。

现有的畸变检测方法有二维检测和三维检测两大类。其中，二维检测能检测大部分待测物的畸变情况，但对待测物高度畸变无法检测；而三维检测仅能检测待测物表面畸变，无法对待测物进行定位，容易导致待测物位置与预设位置差距较大，进而不利于对待测物的精确测量。

发明内容

本发明的目的在于提供一种测量设备，旨在解决现有技术中二维检测设备无法对高度畸变检测，以及三维检测无法对待测物定位精确检测的技术问题。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：一种测量设备，包括用于放置待测物的置物台，还包括：

二维检测装置，设于所述置物台上方，用于检测所述待测物的位置信息；

三维检测装置，用于对待测物进行三维坐标检测；

移动平台，包括平移面，用于使所述三维检测装置与所述置物台沿平行于所述平移面的方向相对平移；

第一旋转台，用于使所述置物台绕垂直于所述平移面的转轴旋转。

进一步地，所述置物台与所述移动平台固定连接；或者，所述三维检测装置与所述移动平台固定连接。

进一步地，所述二维检测装置为远心成像系统。

进一步地，所述三维检测装置为色散共聚焦测量装置。

进一步地，还包括第二旋转台，用于使所述置物台绕沿平行于所述平移面的转轴相对于所述三维检测装置旋转。

进一步地，所述第二旋转台与所述移动平台固定连接，所述第一旋转台与所述第二旋转台固定连接，所述置物台与所述第一旋转台固定连接；

或者，所述第二旋转台与所述三维检测装置固定连接，所述第二旋转台用于带动所述第三检测装置旋转。

进一步地，所述二维检测装置与所述三维检测装置的排列方向垂直于或平行于所述第二旋转台的旋转轴。进一步地，所述平移面包括第一方向和第二方向，所述移动平台包括第一平移台和第二平移台，所述第一平移台用于带动所述置物台沿所述第一方向的正向和/或反向平移，所述第二平移台用于带动所述第一平移台和所述置物台沿所述第二方向的正向和/或反向平移；所述第一方向和所述第二方向垂直或具有锐角或钝角夹角。

本发明还提供了一种测量方法，基于上述的测量设备进行，包括以下步骤：

S1、通过所述二维检测装置获取待测物待测区的位置信息；

S2、所述第一旋转台和/或所述移动平台根据所述位置信息调整所述待测物至相对于所述三维检测装置预设的相对位置处；

S3、通过所述三维检测装置获取置于预设的相对位置处的待测物的三维坐标信息。