[发明专利]一种非接触式气浮平台

权利要求书

1.一种非接触式气浮平台，其特征在于，包括：

气浮条，所述气浮条的下端设置有空腔，所述气浮条的上端面开设有若干均压槽，每一所述均压槽包括一均压主槽和若干均压分槽，且若干所述均压分槽沿所述均压主槽的长度方向与所述均压主槽的一侧连通，每一所述均压槽内设置有若干压力腔，所述均压主槽与每一所述均压分槽的连接处均设置有一所述压力腔，每一所述压力腔的底部与一节流孔的一端连通，若干所述节流孔的另一端与缓冲孔连通，若干所述缓冲孔与所述空腔连通；

密封底板，所述密封底板的上端与所述气浮条的下端连接，所述空腔与所述密封底板的上端组合成一气室，所述密封底板的上端面设置有若干进气孔，若干所述进气孔的一端与所述气室连通；

密封圈，所述密封圈布置在所述气浮条与所述密封底板之间。

2.根据权利要求1所述的一种非接触式气浮平台，其特征在于，若干所述均压分槽布置在所述均压主槽的同一侧。

3.根据权利要求2所述的一种非接触式气浮平台，其特征在于，若干所述均压主槽沿所述气浮条的长度方向均匀布置。

4.根据权利要求2所述的一种非接触式气浮平台，其特征在于，若干所述压力腔沿所述均压主槽的长度方向均匀布置，所述压力腔的截面呈圆形设置。

5.根据权利要求1所述的一种非接触式气浮平台，其特征在于，所述密封底板与所述气浮条通过螺纹紧固件连接。

6.根据权利要求1所述的一种非接触式气浮平台，其特征在于，所述密封底板的侧壁设置有一密封槽，所述密封圈布置在所述密封槽内。

7.根据权利要求4所述的一种非接触式气浮平台，其特征在于，所述空腔的纵截面呈“凸”字形设置，位于左右两侧的所述节流孔连接有所述缓冲孔。

8.根据权利要求7所述的一种非接触式气浮平台，其特征在于，所述缓冲孔的孔径大于所述节流孔的孔径。

9.根据权利要求1所述的一种非接触式气浮平台，其特征在于，所述密封底板的上端面的中部设置有若干所述进气孔，所述密封底板的上端面的左右两侧各设置有若干压力孔，且每一所述压力孔与压力计连接。

10.根据权利要求1所述的一种非接触式气浮平台，其特征在于，所述进气孔的另一端与空气压缩机连通。