[发明专利]非晶合金精密零件的制造方法

权利要求书

1.一种非晶合金精密零件的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：

制备非晶合金板材或带材；

对所述非晶合金板材或带材进行切割处理，以形成非晶合金片；

于所述非晶合金片表面设置光阻膜；

于所述光阻膜表面设置第一胶片，所述第一胶片包括第一图案区域和第一非图案区域；

对设置有第一胶片的非晶合金片进行光处理，以使所述第一非图案区域被硬化；

对经光处理的非晶合金片进行蚀刻切割处理，以使所述第一胶片中第一图案区域、第一图案区域所对应的光阻膜和部分非晶合金片及第一非图案区被蚀刻切割，从而形成所述非晶合金精密零件。

2.根据权利要求1所述的非晶合金精密零件的制造方法，其特征在于，所述非晶合金板材或带材的厚度为0.03-1.0mm。

3.根据权利要求1所述的非晶合金精密零件的制造方法，其特征在于，所述非晶合金片包括第一表面及与所述第一表面相对设置的第二表面，所述光阻膜设置于所述非晶合金片的第一表面和第二表面，所述第一胶片设置于所述非晶合金的第一表面或第二表面的光阻膜上。

4.根据权利要求1所述的非晶合金精密零件的制造方法，其特征在于，所述非晶合金片包括第一表面及与所述第一表面相对设置的第二表面，所述光阻膜设置于所述非晶合金片的第一表面和第二表面，所述第一胶片设置于所述非晶合金的第一表面的光阻膜上。

5.根据权利要求4所述的非晶合金精密零件的制造方法，其特征在于，还包括步骤：

于所述非晶合金片的第二表面的光阻膜上设置第二胶片，所述第二胶片包括第二图案区域和第二非图案区域。

6.根据权利要求5所述的非晶合金精密零件的制造方法，其特征在于，所述第一图案区域与所述第二图案区域相对设置，所述第一非图案区域与所述第二非图案区域相对设置。

7.根据权利要求6所述的非晶合金精密零件的制造方法，其特征在于，还包括步骤：

对设置有第二胶片的非晶合金片进行光处理，以使所述第二非图案区域被硬化，用于保护所述第二非图案区域所对应的光阻膜和非晶合金片；

对经光处理的第二胶片进行蚀刻切割处理，以使所述第二胶片中第二图案区域、第二图案区域所对应的光阻膜和部分非晶合金片及第三非图案区被蚀刻切割，从而使所述第一图案区域与所述第二图案区域连通，进而形成一贯穿孔。

8.根据权利要求6所述的非晶合金精密零件的制造方法，其特征在于，还包括步骤：

对设置有第二胶片的非晶合金片进行光处理，以使第二非图案区域被硬化，用于保护所述第二非图案区域所对应的光阻膜和非晶合金片；

对经光处理的第二胶片进行蚀刻切割处理，以使所述第二胶片中第二图案区域、第二图案区域所对应的光阻膜和部分非晶合金片及第三非图案区被蚀刻切割，其中，所述第一图案区域与所述第二图案区域不连通，所述第一图案区域和所述第二图案区域分别向所述非晶合金片方向形成第一凹槽和第二凹槽。

9.根据权利要求1所述的非晶合金精密零件的制造方法，其特征在于，所述蚀刻剂由具有下列质量分数的组分构成：5-10％的氢氟酸，30-40％的硝酸和50-65％的纯水。

10.根据权利要求1所述的非晶合金精密零件的制造方法，其特征在于，所述光处理所采用的是紫外光。