[发明专利]一种PVDF阵列式柔性压电传感器的图形化刻蚀方法

权利要求书

1.一种PVDF阵列式柔性压电传感器的图形化刻蚀方法，具体步骤如下：

步骤一、图案绘制：对目标压电传感器的图案进行绘制；

步骤二、制备保护膜：对面积大于所需图案的PCB蓝膜进行雕刻,得到与步骤1绘制的图案相对应的蓝膜保护膜；

步骤三、定位粘贴，以及后续处理：将步骤二得到的PCB蓝膜保护膜的下层透明保护膜去除，然后将其粘贴在镀铝的PVDF上，粘贴后压紧避免气泡产生，以避免刻蚀液浸入保护膜内；再于40～50℃的热板上进行加热至完全贴合；

步骤四、曝光：压紧并曝光镀铝PVDF上的蓝膜保护膜至其完全曝光，完全曝光的蓝膜应呈现深紫色，并紧密贴合在镀铝PVDF上；

步骤五、刻蚀：在配置的铝刻蚀液中完全浸泡刻蚀，直至步骤四所得镀铝PVDF的未被蓝膜保护膜保护的无图案部分前后透明即可取出，然后在清水或去离子水中浸泡洗去多余酸液；

步骤六、去蓝膜：揭下蓝膜的上层保护膜，在乙醇溶液中进行浸泡，直至溶解所有蓝膜，再用清水清洗并晾干；

步骤七、电极、引线制备；在步骤六制备的镀铝PVDF上进行电极和引线的制备。

2.如权利要求1所述PVDF阵列式柔性压电传感器的图形化刻蚀方法，其特征在于：

所述步骤七完成后还包括后续的封装：将器件压平展，使用聚酰亚胺PI进行器件粘贴封装，实现器件的防水处理。

3.如权利要求1所述PVDF阵列式柔性压电传感器的图形化刻蚀方法，其特征在于：

所述步骤七的电极使用漆包线一端去除漆皮，然后将去除漆皮的漆包线弯成螺旋状，置于成品需要的电极处并压平，最后使用带胶导电铜箔进行固定，即可完成电极制备。