[发明专利]一种蒸发源装置有效
| 申请号： | 201810947012.3 | 申请日： | 2018-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN108998764B | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 黄伟 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 装置 | ||
1.一种蒸发源装置，其特征在于：所述蒸发源装置包括：主腔室、真空腔室以及蒸发源切换装置，所述真空腔室设置于所述主腔室内，所述主腔室上设有主腔室真空管路，所述主腔室通过所述主腔室真空管路控制所述主腔室的真空环境；
所述真空腔室包括：
腔体、设置于所述腔体侧壁上的真空阀、以及设置于所述腔体侧壁上的真空管路，所述腔体通过所述真空管路调整所述腔体的真空环境；
填料管路，设置于所述腔体的侧壁上，用于添加蒸发源材料；
所述蒸发源切换装置包括：
至少两个蒸发源载盘、设置于所述蒸发源载盘上的蒸发源以及用于运送所述蒸发源的传动机构。
2.如权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于：所述真空腔室上设有用于开启和闭合所述真空腔室的门体组件。
3.如权利要求2所述的蒸发源装置，其特征在于：所述门体组件包括闸板阀。
4.如权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于：所述真空管路由破真空管路和抽真空管路组成。
5.如权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于：所述传动机构包括：伺服电机、同步带，所述蒸发源载盘安装在所述同步带上。
6.如权利要求5所述的蒸发源装置，其特征在于：所述同步带呈环形分布。
7.如权利要求5所述的蒸发源装置，其特征在于：所述传动机构还包括升降台。
8.如权利要求7所述的蒸发源装置，其特征在于：所述同步带呈直线型分布，包括相对平行设置的第一同步带和第二同步带。
9.如权利要求8所述的蒸发源装置，其特征在于：所述第一同步带设置于所述真空腔室顶部，所述第二同步带设置于所述真空腔室内，所述升降台设置于所述同步带两侧。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市华星光电技术有限公司，未经深圳市华星光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201810947012.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：粉体的包覆方法与溅射设备
- 下一篇：卷绕式真空镀膜机及其卷绕方法
- 同类专利
- 专利分类
