[发明专利]一种半导体元件及其形成方法在审

专利信息
申请号: 201810947246.8 申请日: 2018-08-20
公开(公告)号: CN110634841A 公开(公告)日: 2019-12-31
发明(设计)人: 王茂盈;黄沛霖 申请(专利权)人: 南亚科技股份有限公司
主分类号: H01L23/552 分类号: H01L23/552
代理公司: 72003 隆天知识产权代理有限公司 代理人: 黄艳
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;TW
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摘要:
搜索关键词: 晶粒 半导体元件 导电层 参考接地 晶粒接合 配置 外部
【权利要求书】:

1.一种半导体元件,包括:

一第一晶粒,经配置以在一方向上与该半导体元件外部的一第二晶粒接合;以及

一导电层,设置在该方向上且位于该第一晶粒和该第二晶粒之间,经配置以实现一参考接地。

2.如权利要求1所述的半导体元件,其中该第二晶粒经配置以接合该第一晶粒,以及通过将该第二晶粒投影至该第一晶粒上界定出一投影区域,并且该导电层占据该投影区域。

3.如权利要求2所述的半导体元件,还包括:

一重布结构,经配置以做为该第一晶粒的走线,围绕并覆盖该导电层。

4.如权利要求3所述的半导体元件,其中该导电层是一第一导电层,以及其中该重布结构包括:

一第二导电层,经配置以当该第二导电层传送除该参考接地以外的一信号时,与该第一导电层电性隔离。

5.如权利要求3所述的半导体元件,其中该导电层是一第一导电层,以及其中该重布结构包括:

一第二导电层,经配置以当该第二导电层传送该参考接地时,被耦合到该第一导电层。

6.如权利要求5所述的半导体元件,其中该重布结构还包括该导电层上的一介电层,其中该半导体元件还包括:

一插栓,设置在该介电层中,经配置以耦合该第一导电层到该第二导电层。

7.如权利要求1所述的半导体元件,其中该第二晶粒经配置以接合该第一晶粒,以及通过将该第二晶粒投影至该第一晶粒上界定出一投影区域,并且该导电层延伸至该投影区域之外。

8.如权利要求7所述的半导体元件,还包括:

一重布结构,经配置以做为该第一晶粒的走线,围绕并覆盖该导电层。

9.如权利要求8所述的半导体元件,其中该导电层是一第一导电层,以及其中该重布结构包括:

一第二导电层,经配置以当该第二导电层传送除该参考接地以外的一信号时,与该第一导电层电性隔离。

10.如权利要求8所述的半导体元件,其中该导电层是一第一导电层,以及其中该重布结构包括:

一第二导电层,经配置以当该第二导电层传送该参考接地时,被耦合到该第一导电层。

11.如权利要求10所述的半导体元件,其中该重布结构还包括该导电层上的一介电层,其中该半导体元件还包括:

一插栓,设置在该介电层中,经配置以耦合该第一导电层到该第二导电层。

12.如权利要求1所述的半导体元件,其中该第一晶粒包括一钝化层,其中该导电层位于该钝化层上。

13.如权利要求1所述的半导体元件,其中该导电层包括铜,且该导电层具有一网状结构。

14.一种半导体元件,包括:

一第一晶粒;

一导电层,设置在该第一晶粒上并在该第一晶粒上延伸,经配置以实现一参考接地;以及

一重布结构,覆盖并围绕该导电层。

15.如权利要求14所述的半导体元件,其中该导电层是一第一导电层,以及其中该重布结构包括:

一介电层,覆盖该导电层;以及

一第二导电层,设置在该介电层上,

其中该半导体元件还包括:

一插栓,设置在该介电层中,其中该第二导电层通过该插栓提供该第一导电层该参考接地。

16.如权利要求14所述的半导体元件,其中该第一晶粒包括该第一晶粒的一顶表面上的一钝化层,该钝化层接触该导电层。

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