[发明专利]一种半导体元件及其形成方法在审
申请号: | 201810947246.8 | 申请日: | 2018-08-20 |
公开(公告)号: | CN110634841A | 公开(公告)日: | 2019-12-31 |
发明(设计)人: | 王茂盈;黄沛霖 | 申请(专利权)人: | 南亚科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/552 | 分类号: | H01L23/552 |
代理公司: | 72003 隆天知识产权代理有限公司 | 代理人: | 黄艳 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;TW |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶粒 半导体元件 导电层 参考接地 晶粒接合 配置 外部 | ||
1.一种半导体元件,包括:
一第一晶粒,经配置以在一方向上与该半导体元件外部的一第二晶粒接合;以及
一导电层,设置在该方向上且位于该第一晶粒和该第二晶粒之间,经配置以实现一参考接地。
2.如权利要求1所述的半导体元件,其中该第二晶粒经配置以接合该第一晶粒,以及通过将该第二晶粒投影至该第一晶粒上界定出一投影区域,并且该导电层占据该投影区域。
3.如权利要求2所述的半导体元件,还包括:
一重布结构,经配置以做为该第一晶粒的走线,围绕并覆盖该导电层。
4.如权利要求3所述的半导体元件,其中该导电层是一第一导电层,以及其中该重布结构包括:
一第二导电层,经配置以当该第二导电层传送除该参考接地以外的一信号时,与该第一导电层电性隔离。
5.如权利要求3所述的半导体元件,其中该导电层是一第一导电层,以及其中该重布结构包括:
一第二导电层,经配置以当该第二导电层传送该参考接地时,被耦合到该第一导电层。
6.如权利要求5所述的半导体元件,其中该重布结构还包括该导电层上的一介电层,其中该半导体元件还包括:
一插栓,设置在该介电层中,经配置以耦合该第一导电层到该第二导电层。
7.如权利要求1所述的半导体元件,其中该第二晶粒经配置以接合该第一晶粒,以及通过将该第二晶粒投影至该第一晶粒上界定出一投影区域,并且该导电层延伸至该投影区域之外。
8.如权利要求7所述的半导体元件,还包括:
一重布结构,经配置以做为该第一晶粒的走线,围绕并覆盖该导电层。
9.如权利要求8所述的半导体元件,其中该导电层是一第一导电层,以及其中该重布结构包括:
一第二导电层,经配置以当该第二导电层传送除该参考接地以外的一信号时,与该第一导电层电性隔离。
10.如权利要求8所述的半导体元件,其中该导电层是一第一导电层,以及其中该重布结构包括:
一第二导电层,经配置以当该第二导电层传送该参考接地时,被耦合到该第一导电层。
11.如权利要求10所述的半导体元件,其中该重布结构还包括该导电层上的一介电层,其中该半导体元件还包括:
一插栓,设置在该介电层中,经配置以耦合该第一导电层到该第二导电层。
12.如权利要求1所述的半导体元件,其中该第一晶粒包括一钝化层,其中该导电层位于该钝化层上。
13.如权利要求1所述的半导体元件,其中该导电层包括铜,且该导电层具有一网状结构。
14.一种半导体元件,包括:
一第一晶粒;
一导电层,设置在该第一晶粒上并在该第一晶粒上延伸,经配置以实现一参考接地;以及
一重布结构,覆盖并围绕该导电层。
15.如权利要求14所述的半导体元件,其中该导电层是一第一导电层,以及其中该重布结构包括:
一介电层,覆盖该导电层;以及
一第二导电层,设置在该介电层上,
其中该半导体元件还包括:
一插栓,设置在该介电层中,其中该第二导电层通过该插栓提供该第一导电层该参考接地。
16.如权利要求14所述的半导体元件,其中该第一晶粒包括该第一晶粒的一顶表面上的一钝化层,该钝化层接触该导电层。
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