[发明专利]石英舟装卸硅片的方法及其装置

权利要求书

1.一种石英舟装卸硅片的方法，其特征在于，包括：

S100、装卸机械手从石英舟上依次抓取处理后的硅片卸载在多个依次进给的空的花篮组内，直至所述石英舟上处理后的硅片全部卸完；

其中，所述装卸机械手从石英舟上抓取处理后的硅片时，所述花篮组同时进给；所述装卸机械手将处理后的硅片卸载在空的花篮组内时，所述石英舟同时进给；

S200、携带未处理的硅片的花篮组依次进给，所述装卸机械手从所述花篮组内依次抓取未处理的硅片装载在所述石英舟空出的区域，直至所述石英舟上装满所述未处理的硅片，从而将石英舟上处理后的硅片全部卸完之后，再将花篮组内未处理的硅片全部装载在石英舟空出的区域内；

其中，所述装卸机械手从所述花篮组内抓取未处理的硅片时，所述石英舟同时进给；所述装卸机械手将未处理的硅片装载在所述石英舟空出的区域时，所述花篮组同时进给；

所述S100包括：

S110、令石英舟上第一数量的储片槽进给至第一装卸区，并令所述第一装卸区内的所述储片槽中多个相间隔的储片槽与装卸机械手相对应，以及令花篮组内第一储片区进给至第二装卸区；

S120、所述装卸机械手将所述第一装卸区内相对应的储片槽中处理后的硅片抓取；

S130、所述装卸机械手移动至所述第二装卸区，并将所述装卸机械手内处理后的硅片卸载至所述第一储片区；

同时，所述石英舟进给一个储片槽，以令所述石英舟上第一数量的储片槽中剩余储片槽与所述装卸机械手相对应；

S140、所述装卸机械手移动至所述第一装卸区，并将所述第一装卸区内相对应的储片槽中处理后的硅片抓取；

同时，令所述花篮组进给，以令所述花篮组内第二储片区进给至所述第二装卸区；

S150、所述装卸机械手移动至所述第二装卸区，并将所述装卸机械手内处理后的硅片卸载至所述第二储片区内；

S160、令所述石英舟进给，以令所述石英舟上下一所述第一数量的储片槽进给至所述第一装卸区，并令所述第一装卸区内的所述储片槽中多个相间隔的储片槽与所述装卸机械手相对应；

同时，令下一所述花篮组内的所述第一储片区进给至所述第二装卸区；

S170、重复所述S120-所述S160，直至所述石英舟上处理后的硅片全部卸载至所述花篮组内。

2.根据权利要求1所述的石英舟装卸硅片的方法，其特征在于，所述S200包括：

S210、令装设有未处理的硅片的花篮组的第一储片区进给至所述第二装卸区；

S220、所述装卸机械手移动至所述第二装卸区，并将所述第一储片区内的所述未处理的硅片抓取；

S230、所述装卸机械手移动至所述第一装卸区，并将所述装卸机械手内未处理的硅片装载至所述第一装卸区内相对应的储片槽中；

同时，令所述花篮组进给，以令所述花篮组内第二储片区进给至所述第二装卸区；

S240、所述装卸机械手移动至所述第二装卸区，并将所述第二储片区内的所述未处理的硅片抓取；

同时，所述石英舟回退一个储片槽，以令所述石英舟上第一装卸区内的所述第一数量的储片槽中剩余储片槽与所述装卸机械手相对应；

S250、所述装卸机械手移动至所述第一装卸区，并将所述装卸机械手内未处理的硅片装载至所述第一装卸区内相对应的储片槽中。

3.根据权利要求2所述的石英舟装卸硅片的方法，其特征在于，在所述S250之后，还包括S260、令下一装设有未处理的硅片的花篮组的第一储片区进给至所述第二装卸区；

并令所述石英舟回退，以令所述石英舟上下一第一数量的储片槽进给至所述第一装卸区；

S270、重复所述S220-所述S260，直至多个所述花篮组内的硅片全部装载至所述石英舟上。