[发明专利]一种坩埚在审
申请号: | 201810949505.0 | 申请日: | 2018-08-20 |
公开(公告)号: | CN109046489A | 公开(公告)日: | 2018-12-21 |
发明(设计)人: | 贺灿炎;余伟蓉 | 申请(专利权)人: | 北海飞九天电子科技有限公司 |
主分类号: | B01L3/04 | 分类号: | B01L3/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 536009 广西壮族自治区北海市银海*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 坩埚 坩埚本体 坩埚盖 隔水板 卡和结构 快速冷却 密封连接 中空结构 坩埚外壁 进液口 进液区 肋条 螺纹结构连接 螺纹结构 坩埚内壁 坩埚装置 出液区 坩埚壁 中空 盖体 卡紧 水中 连通 转动 | ||
1.一种坩埚,包括坩埚本体,盖体,坩埚外壁,坩埚内壁,坩埚底,坩埚冷却支架;坩埚盖体通过卡和结构卡紧坩埚本体,使坩埚本体和坩埚盖体密封连接;其特征在于,坩埚本体的坩埚壁为中空的结构,中空内部设有一隔水板,隔水板将坩埚壁的中空结构分为进液区和出液区,隔水板的顶部通过肋条连接坩埚外壁,其中进液区连通进液口,进液口为内螺纹结构,进液口和支架进液管密封连接;坩埚冷却支架包括支架进液管,支架进液管连接旋转密封液管,支架进液管和旋转密封液管通过密封旋转轴承连接,支架进液管固定连接扭轮,扭动扭轮使得支架进液管旋转上升,与坩埚进液口密封连接。
2.根据权利要求1所述的坩埚,其特征在于,支架进液管为具有外螺纹的中空管道,支架进液管连接的旋转密封管为可伸缩的波纹管。
3.根据权利要求2所述的坩埚,其特征在于,坩埚底具有坩埚出液口,坩埚出液口为环形出液口,与之对应的坩埚托体出液口为上部具有环形凹槽的坩埚托体出液口。
4.根据权利要求1所述的坩埚,其特征在于,坩埚外壁形状为具有圆形倒角的三角形、四边形、或者非圆形的具有圆形倒角的多边形。
5.根据权利要求1所述的坩埚,其特征在于,坩埚冷却支架还包括支架本体,支架支脚,支架进液管,坩埚托体。
6.根据权利要求1所述的坩埚,其特征在于,坩埚冷却支架还包括强制循环泵,强制循环泵连接液管,液管连接旋转密封液管,旋转密封液管连接支架进液管。
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