[发明专利]一种透过率和反射率的检测装置和检测方法

说明书

本发明公开了一种透过率和反射率的检测装置和检测方法，一种透过率和反射率的检测装置，利用分光镜将入射光一分为二，一路作为参照光路、另一路作为测试光路。本发明透过率和反射率的检测装置，即可实现对平面元件透射率和反射率的检测，也可实现对曲面元件透射率和反射率的检测，且无需陪镀片，大大降低了镀膜成本，镀膜时不再需要额外的平面陪镀片；进一步，本申请还可在全波段工作。

技术领域

本发明涉及一种透过率和反射率的检测装置和检测方法，属于光学零件质量检测领 域。

背景技术

物体反射的辐射能量占总辐射能量的百分比，称为反射率，不同物体的反射率也不同， 这主要取决于物体本身的性质(表面状况)，以及入射电感波的波长和入射角度；透射是入 射光经过折射穿过物体后的出射现象，为了表示透明体透过光的程度，通常用透过后的光 通量与入射光通量之比τ来表征物体的透光性质，τ称为光透射率。反射率和透射率是光 学镜片的重要性能指标，目前国内外用于检测光学零件的透过率或者反射率的设备都是只 能测试平面元件，尚不能检测曲面光学镜片。

同时现有市面上的相关检测设备都是单波段的检测设备，根据200～400nm的紫外光 区、400～760nm的可见光区和2.5～25μm的红外光区的不同使用要求，需配备不同的 检测设备，使检测成本大幅度提升。

发明内容

为了解决现有技术中不能检测曲面光学镜片反射率和透射率的缺陷，本发明提供一 种透过率和反射率的检测装置和检测方法。

为解决上述技术问题，本发明所采用的技术方案如下：

一种透过率和反射率的检测装置，利用分光镜将入射光一分为二，一路作为参照光路、 另一路作为测试光路。

上述方法将入射光一分为二，使得测量结果具有时间的不相关性，利用双光束参比法 测量光学元件的透过率、反射率。

本申请装置适于平面和曲面光学镜片的透过率和反射率的检测，可在全波段下工作。

优选，透过率和反射率的检测装置，包括光束整形透镜、分光镜、第一光电探测器和 第二光电探测器；光束整形透镜和分光镜沿光的入射光方向依次设置，第一光电探测器设 在分光镜的投射光路上，第二光电探测器设在分光镜的反射光路上。

光束整形透镜可实现光束的扩束、整形等功能。

光束整形透镜和分光镜沿光的入射光方向依次设置也即入射光先经过光束整形透镜 后，再进入分光镜，进入分光镜的光一部分被反射、形成分光镜的反射光路，一部分被投 射、形成分光镜的投射光路。

上述检测装置入射光经光束整形透镜整形后，被分光镜分为两路，一路为分光镜的投 射光路，一路为分光镜的反射光路，投射光路中的光最终进入第一光电探测器，反射光路 中的光最终进入第二光电探测器。

为了提高测试的准确性，分光镜的镜面与光束整形透镜的中心轴线之间的夹角为45°

为了进一步提高测试的准确性，沿光的入射方向，光束整形透镜包括依次相接的第一 透镜、第二透镜、第三透镜和第四透镜；第一透镜和第二透镜的中心间距为零；第二透镜 和第三透镜的中心间距为5-6mm；第三透镜和第四透镜的中心间距为5-6mm。

本申请的中心间距指相邻两透镜的相邻两面的中心之间的距离。