[发明专利]一种减反射薄膜的结构和制备方法

权利要求书

1.一种宽谱减反射薄膜的结构和制备方法，其特征在于，先使用溶胶凝胶法制备酸催化的TiO₂溶胶；然后在碱催化下制备不同折射率的TiO₂溶胶；其次用所配置的溶胶，结合浸渍提拉法在玻璃衬底上制备多折射率层渐变层TiO₂(H⁺)/TiO₂(OH^-)/TiO₂(OH^-)减反射薄膜；最后将所得的减反射薄膜进行表面优化处理，再经过清洗提拉烘干后，即可得稳定的宽谱减反射薄膜。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，具体操作步骤如下：

步骤1，按摩尔比为120:1~200:1的无水乙醇（EtOH）、正硅酸乙酯（TEOS）、浓氨水和去离子水混合，搅拌均匀后静置老化10天，得到不同折射率的TiO2(OH^-)溶胶；

步骤2，按摩尔比为120:1~200:1的无水乙醇（EtOH）、正硅酸乙酯（TEOS）、浓盐酸和去离子水混合，得到TiO₂(H⁺)溶胶；

步骤3，在相对湿度<35%的室温环境下，将经过干净的玻璃衬底浸入步骤2的TiO₂(H⁺)溶胶中，采用浸渍提拉生长TiO₂(H⁺)薄膜，再将制备好的薄膜在150℃下热处理15分钟；随后再将基底浸入步骤1的TiO2(OH^-)溶胶中，采用浸渍提拉法依次提拉折射率较低和折射率更低的TiO2(OH^-)薄膜；

其中，提拉速度为800μm/s-1600μm/s，每层薄膜提拉后需在60℃下热处理10分钟；

步骤5，将多层TiO₂薄膜置于三甲基氯硅烷（TMCS）中浸泡30分钟，随后用丙酮、乙醇、去离子水冲洗，最后在加热的去离子水中提拉烘干。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于步骤4中所述的玻璃衬底为经过煮沸以及玻璃清洗剂和去离子水超声清洗的玻璃。

4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于步骤5中的表面优化在比较干燥环境中进行。