[发明专利]基于K空间变换的三维成像装置及其成像方法有效

专利信息
申请号: 201810954592.9 申请日: 2018-08-21
公开(公告)号: CN109085137B 公开(公告)日: 2020-08-28
发明(设计)人: 张雪丹;刘诚;朱健强 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: G01N21/39 分类号: G01N21/39;G01N21/47
代理公司: 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 代理人: 张宁展
地址: 201800 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 基于 空间 变换 三维 成像 装置 及其 方法
【权利要求书】:

1.一种基于K空间变换的三维成像装置,其特征在于:包括激光器(1)、透镜(2)、第一分光棱镜(3)、第一柱透镜(4)、光斑探测器(5)、计算机(6)、第二分光棱镜(7)、显微物镜(8)、供待测样品放置的一维电动位移台(9)、显微物镜组(11)、第一反射镜(12)、第二柱透镜(13)、第二反射镜(14);

上述元件的位置关系如下:

所述激光器(1)发出激光经过透镜(2)成为一束平行光,通过第一分光棱镜(3)分束为透射光束和反射光束,即探测光束和参考光束,所述的探测光束经第一柱透镜(4)聚焦成为片状照明光,并依次经第二分光棱镜(7)和显微物镜(8)汇聚成片状更细的片状照明光照射在待测样品上,经待测样品反射后,原路返回,经显微物镜(8)透射后入射到第二分光棱镜(7);

所述的参考光束经第二反射镜(14)反射后,通过第二柱透镜(13)形成片状参考光,并由第一反射镜(12)反射后,依次经显微物镜组(11)和第二分光棱镜(7)透射后,与经第二分光棱镜(7)反射的探测光束共同入射到光斑探测器(5),所述的计算机(6)分别与所述的光斑探测器(5)和一维电动位移台(9)相连。

2.根据权利要求1所述的基于K空间变换的三维成像装置,其特征在于:还包括夹持器(10),该夹持器(10)由一维电动位移台(9)控制,用于固定待测样品。

3.利用权利要求1或2所述的基于K空间变换的三维成像装置对待测样品进行三维成像的方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:

①以激光器发出激光为光轴,将待测样品固定在所述一维电动位移台上,由一维电动位移台控制送入光路中,使待测样品垂直于探测光束入射方向,同时,确保各个光学元件与探测光束垂直且中心保持在光轴上;

②测量待测样品到第二分光棱镜(7)的距离L1,第二分光棱镜(7)到光斑探测器(5)靶面的距离L2,以及第二分光棱镜(7)的宽度D;

③遮挡住参考光路,保留探测光路,用光斑探测器记录第1幅散射光斑;

④遮挡住探测光路,保留参考光路,用光斑探测器记录第2幅散射光斑;

⑤保留探测光路与参考光路,用光斑探测器记录第3幅散射光斑;

⑥计算机(6)控制所述的一维电动位移台(9)的移动,使待测样品按照预设移动步长l沿垂直于光轴方向移动,每移动一次,光斑探测器采集重复步骤③、④、⑤直至移动n次,采集3n幅散射光斑;

⑦光斑探测器记录的光斑强度分别输入计算机,由计算机进行待测样品的三维成像。

4.根据权利要求3所述的三维成像方法,其特征在于,所述步骤⑦,利用计算机对光斑探测器记录的3n幅散射光斑进行三维成像,具体步骤如下:

步骤7.1、令n=1;

步骤7.2、读入一维电动位移台移动第n次所记录的3幅散射光斑;

步骤7.3、用第n次的第3幅散射光斑图与第n次的第1幅和第2幅散射光斑图之和做差;

步骤7.4、对步骤7.3得到的图像做离散傅里叶变换,然后截取1级频谱,并平移至图像中心处;

步骤7.5、对步骤7.4得到的图像做离散傅里叶逆变换,然后利用菲涅尔传播公式传播至样品中心平面,其传播距离为:D+L1+L2

步骤7.6、对步骤7.5得到的图像做离散傅里叶变换;

步骤7.7、利用公式获取波前在光轴上的对应位置,其中,p为轴向位置,m为横向位置,n为纵向位置,λ为激光波长,Δkx为横向空间频率,Δky为纵向空间频率,Δkz轴向空间频率;

步骤7.8、将数据(m,n)处对应的振幅和相位移动至(m,p)处,从而将波前投影至平行于光轴的平面;

步骤7.9、对步骤7.8得到的结果做离散逆傅里叶变换;

步骤7.10、令n=n+1,重复步骤7,2到步骤7.9直至电动位移台移动n次,最终得到的三维数据组,即是待测样品的三维信息。

5.根据权利要求3或4所述的三维成像方法,其特征在于,所述的预设移动步长l的范围为1μm-10μm。

6.根据权利要求3或4所述的三维成像方法,其特征在于,所述的一维电动位移台移动次数n的范围为300-500次。

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