[发明专利]辉光放电系统以及使用其的辉光放电质谱装置

权利要求书

1.一种辉光放电系统，该辉光放电系统用在辉光放电质谱装置中，该辉光放电系统包括：

样品保持件，其具有开口部，并且具备保持构件，该保持构件以使平板状的固体试样的一个主面朝向所述开口部的方式自该固体试样的与所述开口部所在侧相反的一侧保持该固体试样；以及

放电单元，其与所述样品保持件的所述开口部侧相邻，具有配置在与所述开口部所在侧相反的一侧的离子引出口，用于形成放电区域，

该辉光放电系统的特征在于，

在所述保持构件的用于保持所述固体试样的那一侧设有圆形且是平板状的第1磁体，

在所述放电区域的所述离子引出口侧设有环状的第2磁体，该第2磁体以围绕所述放电区域的方式埋入所述放电单元，并与所述第1磁体同轴配置，

所述第1磁体和所述第2磁体以磁化方向与自所述开口部朝向离子引出口去的方向平行、并且磁极彼此朝向相反方向的方式配置。

2.根据权利要求1所述的辉光放电系统，其特征在于，

所述保持构件是磁性不锈钢制的柱塞。

3.根据权利要求1或2所述的辉光放电系统，其特征在于，

所述放电单元在所述离子引出口的与所述开口部相反的那一侧具有引出电极。

4.一种辉光放电质谱装置，其包括辉光放电系统和质谱仪，该辉光放电系统用于通过辉光放电而自固体试样引出该固体试样的构成原子的离子束，所述质谱仪用于进行所述离子束中含有的离子的质谱分析，该辉光放电质谱装置的特征在于，

所述辉光放电系统是权利要求1～3中任一项所述的辉光放电系统。

5.根据权利要求4所述的辉光放电质谱装置，其特征在于，

该辉光放电质谱装置还具有磁场系统和电场系统，该磁场系统用于从自所述辉光放电系统引出的所述离子束中分离并选择目标离子，所述电场系统用于汇聚在所述磁场系统中选出的离子束的能量。