[发明专利]气体传感模块及其制备方法和应用

权利要求书

1.一种气体传感模块的制备方法，其特征在于，该方法包括：

1)将含锡化合物、C2-C6的有机二元酸、水合肼和盐酸混合并进行水热反应，然后进行固液分离，得到二氧化锡载体；

2)通过浸渍法将贵金属负载在所述二氧化锡载体上，得到贵金属负载气敏传感材料；

3)将所述贵金属负载气敏传感材料负载在微传感器芯片上；

其中，步骤1)中，所述二氧化锡载体为具有花状结构的二氧化锡微球；

步骤2)中，将所述二氧化锡载体用贵金属前驱体浸渍，并进行紫外光辐照，所述贵金属前驱体为选自Ag、Au、Pd和Pt中一种或多种的水溶性贵金属盐，所述紫外光辐照的条件包括：时间为10-60min，功率为150-500W。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其中，所述含锡化合物选自二氯化亚锡、四氯化锡、氧化亚锡和草酸亚锡中的一种或多种。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其中，以锡元素计，所述含锡化合物与所述C2-C6的有机二元酸、所述水合肼、所述盐酸的摩尔比为1：3-5.5：3-25：0.2-0.48。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其中，所述C2-C6的有机二元酸选自草酸、丙二酸、丁二酸、戊二酸和己二酸中一种或多种。

5.根据权利要求4所述的制备方法，其中，所述C2-C6的有机二元酸为草酸。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其中，所述水热反应的条件包括：温度为160-200℃，时间为4-20h。

7.根据权利要求1所述的制备方法，其中，所述贵金属前驱体选自AgNO₃、AuCl₃、Pd(OAc)₂、K₂PtCl₄、PdCl₂和Pd(acac)₂中的一种或多种。

8.根据权利要求1所述的制备方法，其中，相对于1重量份二氧化锡载体，以贵金属元素计所述贵金属前驱体的用量为0.005-0.03重量份。

9.根据权利要求1所述的制备方法，其中，所述微传感器芯片包括基片和设置在该基片上的传感电极。

10.根据权利要求9所述的制备方法，其中，所述微传感器芯片还包括加热电极。

11.根据权利要求1所述的制备方法，其中，所述微传感器芯片包括依次层叠的电极层、绝缘层、加热层、支撑层、悬空层和衬底层，在所述悬空层和所述衬底层上的与所述加热层对应的区域具有通孔。

12.根据权利要求1所述的制备方法，其中，所述二氧化锡微球的直径为0.5-2.5μm。

13.一种气体传感模块阵列，其特征在于，该气体传感模块阵列由两个以上权利要求1-12中任意一项所述的制备方法得到的气体传感模块组成，所述气体传感模块负载有不同的贵金属负载气敏传感材料。

14.权利要求1-12中任意一项所述的制备方法得到的气体传感模块、或者权利要求13所述的气体传感模块阵列在泄漏检测领域、危险气体侦检领域或者人体防护领域中的应用。