[发明专利]一种集成化主动冷却粒子流探针

权利要求书

1.一种集成化主动冷却粒子流探针，其特征在于：包括有粒子接收探头、柱状热沉和电信号导出端子，所述粒子接收探头的底端通过应力缓释层与柱状热沉贴合，所述柱状热沉内部设有连通的冷却水通道，所述冷却水通道为通过隔板隔开且连通的两半圆柱形空腔结构，所述柱状热沉的底端部电连通有电信号导出端子，所述柱状热沉的底端安装在分水盒上，所述柱状热沉与所述分水盒之间设有绝缘管，所述分水盒内设有与柱状热沉冷却水通道连通的通道。

2.根据权利要求1所述的集成化主动冷却粒子流探针，其特征在于：所述的粒子接收探头由钨或者钨合金制成，其位于前端用于与等离子体接触。

3.根据权利要求1所述的集成化主动冷却粒子流探针，其特征在于：所述的应力缓释层由无氧铜或钨铜梯度材料制成，与所述粒子接收探头和所述柱状热沉分别紧密贴合。

4.根据权利要求1所述的集成化主动冷却粒子流探针，其特征在于：所述的柱状热沉由铬锆铜合金或Al₂O₃弥散强化铜制成。

5.根据权利要求1所述的集成化主动冷却粒子流探针，其特征在于：所述的柱状热沉为具有底部开口的半开放圆柱形内腔结构，所述半开放圆柱形内腔由一隔板分成两个半圆柱形空间，且所述隔板与所述半开放圆柱形内腔顶端之间留有顶部空间，形成途经其中一侧半圆柱形空间、顶部空间以及另一侧半圆柱形空间的冷却水通道。

6.根据权利要求1所述的集成化主动冷却粒子流探针，其特征在于：所述的柱状热沉的外表面设有绝缘套或绝缘涂层。

7.根据权利要求1所述的集成化主动冷却粒子流探针，其特征在于：所述的电信号导出端子与柱状热沉为一体式结构。

8.根据权利要求1所述的集成化主动冷却粒子流探针，其特征在于：所述的绝缘管内部设有两个上下贯通的半圆柱形空间，且其与所述柱状热沉的两个半圆柱形空间连通。

9.根据权利要求1所述的集成化主动冷却粒子流探针，其特征在于：所述的分水盒由不锈钢制成，其上设有进水和出水两个相互贴合的方形通道，且进水和出水通道顶端设有半圆形进水口和出水口，所述进水口和出水口分别与所述柱状热沉的冷却水通道连通。

10.根据权利要求1所述的集成化主动冷却粒子流探针，其特征在于：所述的粒子流探针若干个为一组，其分别通过所述绝缘管与所述分水盒组装焊接成整体。