[发明专利]微机电系统探针、制作其的方法及使用其的测试装置

权利要求书

1.一种微机电系统探针，用于测试待测试对象的电特性，所述微机电系统探针包括：

第一端子接触部分；

第二端子接触部分，与所述第一端子接触部分相对；以及

弹性连接部分，在所述第一端子接触部分与所述第二端子接触部分之间弹性变形且包括沿与变形方向平行的方向堆叠的多个镀覆层，

其中所述弹性连接部分包括至少一个沿所述弹性连接部分的纵向延伸的狭槽。

2.根据权利要求1所述的微机电系统探针，其中所述弹性连接部分在预定方向上预先弯曲。

3.根据权利要求2所述的微机电系统探针，其中所述多个镀覆层沿所述预定方向堆叠。

4.根据权利要求1所述的微机电系统探针，其中所述多个镀覆层包括弹性镀覆层及导电镀覆层，所述导电镀覆层具有比所述弹性镀覆层低的弹性系数及比所述弹性镀覆层高的导电率。

5.根据权利要求1所述的微机电系统探针，其中所述多个镀覆层包括位于最外侧处的绝缘涂布层。

6.一种制作微机电系统探针的方法，所述方法包括：

堆叠并镀覆平板形状的多个层的探针主体；

让所述多个层的所述探针主体经历初级热处理；

将经历所述初级热处理的所述探针主体的中间部分按压成形为在堆叠方向上弯曲；以及

让弯曲的所述探针主体经历次级热处理。

7.一种测试装置，用于测试待测试对象的电特性，所述测试装置包括：

第一支撑构件，具有多个引导孔；

第二支撑构件，具有多个端子孔且与所述第一支撑构件平行地间隔开；以及

多个微机电系统探针，各自包括第一端子接触部分、第二端子接触部分及弹性连接部分，所述第一端子接触部分插入所述第一支撑构件的所述引导孔中而被支撑以在测试方向上滑动及移动，所述第二端子接触部分支撑在所述第二支撑构件的所述端子孔中，所述弹性连接部分在所述第一端子接触部分与所述第二端子接触部分之间弹性变形且包括沿与变形方向平行的方向堆叠的多个镀覆层，

其中所述弹性连接部分包括至少一个沿所述弹性连接部分的纵向延伸的狭槽。