[发明专利]一种基于柔性铰链的Z向纳米位移定位平台

权利要求书

1.一种基于柔性铰链的Z向纳米位移定位平台，包括平台本体(1)，其特征在于：所述平台本体(1)包括运动平台(1-1)和基座(1-2)，所述运动平台(1-1)通过柔性铰链(2)与所述基座(1-2)连接；

所述平台本体(1)内开设有盲孔(3)，在所述盲孔(3)内安装依次安装有锁紧螺母(4)、半球螺母(5)、第一钨钢半球(6)、压电陶瓷(7)和第二钨钢半球(8)，所述盲孔(3)的一端部与所述第二钨钢半球(8)接触，另一端部内安装有所述锁紧螺母(4)和半球螺母(5)，所述半球螺母(5)与所述第一钨钢半球(6)的表面接触；

所述柔性铰链(2)的上端面与所述运动平台(1-1)连接，所述柔性铰链(2)的上端面上均匀分布多个上端面连接点(2-1)，用于与所述运动平台(1-1)接触连接，所述柔性铰链(2)的下端面上均匀分布多个下端面连接点(2-2)，用于与所述基座(1-2)接触连接，所述上端面连接点(2-1)与所述下端面连接点(2-2)的数量相同，且在所述柔性铰链(2)上设置的位置相对错开，所述上端面连接点(2-1)的数量至少为4个，所述下端面连接点(2-2)的数量至少为4个，所述压电陶瓷(7)的两端分别连接第一钨钢半球(6)和第二钨钢半球(8)，所述锁紧螺母(4)和半球螺母(5)均通过螺纹与所述平台本体(1)连接。

2.根据权利要求1所述的Z向纳米位移定位平台，其特征在于：所述盲孔(3)靠近第二钨钢半球(8)的一端孔底内壁为圆锥面，所述第二钨钢半球(8)的表面与该圆锥面接触。

3.根据权利要求2所述的Z向纳米位移定位平台，其特征在于：所述平台本体(1)为圆柱体。