[发明专利]基于全光纤共光路反射式干涉仪的无孔式近场光学显微成像方法在审
| 申请号： | 201810964380.9 | 申请日： | 2018-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN109239404A | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 丁伟;孙一之 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | G01Q60/18 | 分类号： | G01Q60/18 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 王勇 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 波导样品 反射光 干涉 近场光学 探针扫描 显微成像 相干检测 参考光 无孔式 信号光 激光 布拉格光纤光栅 干涉光信号 辐照步骤 光纤路径 激光耦合 扫描步骤 端面处 反射式 共光路 全光纤 引入 | ||
1.一种无孔式近场光学显微成像方法，包括如下步骤：
辐照步骤：将激光耦合进波导样品；
扫描步骤：用探针扫描所述波导样品；
干涉步骤：将参考光和信号光引入同一条光纤路径中发生干涉，其中，所述参考光为所述激光在波导样品端面处的反射光或布置在所述波导样品之前的布拉格光纤光栅处的反射光，所述信号光为所述激光在所述波导样品的探针扫描部位的反射光；以及
相干检测步骤：对所述干涉步骤产生的干涉光信号进行相干检测。
2.一种无孔式近场光学显微成像方法，包括如下步骤：
辐照步骤：采用激光辐照样品；
扫描步骤：用探针扫描所述样品；
干涉步骤：将参考光和信号光引入同一条光纤路径中发生干涉，其中，所述参考光为所述激光在所述样品之前的布拉格光纤光栅处的反射光，所述信号光为所述激光在所述样品的探针扫描部位的散射光；以及
相干检测步骤：对所述干涉步骤产生的干涉光信号进行相干检测。
3.根据权利要求1或2所述的无孔式近场光学显微成像方法，其中，所述相干检测为零差检测或外差检测。
4.根据权利要求1或2所述的无孔式近场光学显微成像方法，其中，所述探针为原子力显微镜探针。
5.一种无孔式近场光学显微成像装置，包括：
激光源，用于发射激光；
透镜光纤，用于将所述激光耦合入波导样品；
探针，用于扫描所述波导样品；
光导向部件，用于将参考光和信号光引入同一条光纤路径，其中，所述参考光为所述激光束在所述波导样品端面处的反射光，所述信号光为所述激光束在所述波导样品的探针扫描部位的反射光；
光纤路径，用于传输所述参考光和所述信号光；以及
相干检测部件，用于对参考光和信号光的干涉信号进行相干检测。
6.一种无孔式近场光学显微成像装置，包括：
激光源，用于发射激光；
布拉格光纤光栅，用于所述激光的部分透射和部分反射；
透镜光纤，用于将所述激光耦合入波导样品；
探针，用于扫描所述波导样品；
光导向部件，用于将参考光和信号光引入同一条光纤路径，其中，所述参考光为所述激光在所述布拉格光纤光栅处的反射光，所述信号光为所述激光在所述波导样品的探针扫描部位的反射光；
光纤路径，用于传输所述参考光和所述信号光；以及
相干检测部件，用于对参考光和信号光的干涉信号进行相干检测。
7.一种无孔式近场光学显微成像装置，包括：
激光源，用于发射激光；
布拉格光纤光栅，用于所述激光的部分透射和部分反射；
透镜光纤，用于将所述激光耦合入样品；
探针，用于扫描所述样品；
光导向部件，用于将参考光和信号光引入同一条光纤路径，其中，所述参考光为所述激光在所述布拉格光纤光栅处的反射光，所述信号光为所述激光束在所述样品的探针扫描部位的散射光；
光纤路径，用于传输所述参考光和所述信号光；以及
相干检测部件，用于对参考光和信号光的干涉信号进行相干检测。
8.根据权利要求6或7所述的无孔式近场光学显微成像装置，其中，所述透镜光纤与所述布拉格光纤光栅熔接在一起。
9.根据权利要求5-7中任一项所述的无孔式近场光学显微成像装置，其中，所述光导向部件为光纤环形器。
10.根据权利要求5-7中任一项所述的无孔式近场光学显微成像装置，还包括强度调制器，用于改变所述激光源发射的激光的频谱成分，以实现外差检测。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院物理研究所，未经中国科学院物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201810964380.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
