[发明专利]一种有机发光二极管结构及其制造方法

说明书

本申请提供一种有机发光二极管结构及其制造方法，包括：衬底；阳极结构；隔绝材料膜；有机发光材料膜；以及阴极薄膜，其中，所述隔绝材料膜的厚度与所述阳极结构的厚度的比值为0.5‑10。根据本申请，避免阴极材料膜断线，提升阴极材料膜蒸镀成膜工艺窗口，从而提高OLED的良率。

技术领域

本申请涉及半导体技术领域，尤其涉及一种有机发光二极管结构及其制造方法。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)又称为有机电激光显示、有机发光半导体。OLED显示技术具有自发光、广视角、几乎无穷高的对比度、较低耗电、极高反应速度等优点。

OLED的基本结构是由一薄而透明具半导体特性之铟锡氧化物(ITO)，与电力之正极相连，再加上另一个金属阴极，包成如三明治的结构。整个结构层中包括了：空穴传输层(HTL)、发光层(EL)与电子传输层(ETL)。当电力供应至适当电压时，正极空穴与阴极电荷就会在发光层中结合，产生光亮，依其配方不同产生红、绿和蓝RGB三基色，构成基本色彩。OLED的特性是自己发光，不像薄膜晶体管(TFT)液晶显示器(LCD)需要背光，因此可视度和亮度均高，其次是电压需求低且省电效率高，加上反应快、重量轻、厚度薄，构造简单，成本低等，被视为21世纪最具前途的产品之一。

OLED显示屏是由许许多多的像素构成，而为了让每一个单独的像素可以显示出各种颜色，就需要把该像素分解为红绿蓝三个比像素更低一级的子像素，每一个子像素就是一个独立的OLED结构，这些独立的OLED结构之间形成有一层隔绝材料膜，该隔绝材料膜用于将相邻的OLED分隔开。

应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本申请的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本申请的背景技术部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。

发明内容

本申请的发明人发现，如果OLED结构的隔绝材料膜较薄，阴极薄膜在被蒸镀于OLED结构的上表面时容易断裂开，从而影响OLED的良率。

图1是隔绝材料膜断裂开的一个示意图。如图1所示，在OLED结构中，衬底100的表面形成有由薄膜110和120形成的阳极结构，阳极结构具有间隔区，间隔区中形成有隔绝材料膜150，隔绝材料膜150表面形成有有机发光材料膜160和阴极材料膜170。

如图1所示，当隔绝材料膜150较薄时，例如，隔绝材料膜150的厚度与阳极结构的厚度的比值小于0.5，阳极结构侧壁的隔绝材料膜150的表面形貌角度α72°，由此，导致后续的阴极材料膜170在蒸镀成膜的时候断开。

本申请提供一种有机发光二极管(OLED)结构及其制造方法，通过调整OLED结构的隔绝材料膜的厚度，避免阴极材料膜断线，提升阴极材料膜蒸镀成膜工艺窗口，从而提高OLED的良率。

根据本申请实施例的一个方面，提供一种有机发光二极管结构，包括：衬底；阳极结构，其形成于所述衬底表面，相邻的所述阳极结构之间具有间隔区；隔绝材料膜，其覆盖所述阳极结构的所述间隔区，以及所述间隔区周围的所述阳极结构的一部分；有机发光材料膜，其形成于所述隔绝材料膜的表面以及从所述隔绝材料膜露出的所述阳极结构的表面；以及阴极薄膜，其形成于所述有机发光材料膜表面，所述阳极结构和所述阴极薄膜在被施加正向直流电压的情况下，所述有机发光材料膜发光，其中，所述隔绝材料膜的厚度与所述阳极结构的厚度的比值为0.5-10。

根据本申请实施例的一个方面，其中，所述阳极结构为铝(Al)和氧化铟锡(ITO)叠层。

根据本申请实施例的一个方面，其中，所述隔绝材料膜的材料是硅的氧化物。

根据本申请实施例的一个方面，提供一种有机发光二极管结构的制造方法，包括：