[发明专利]具有除尘机构的芯片切割机

权利要求书

1.具有除尘机构的芯片切割机，包括机架，其特征在于：所述机架上设有晶圆放置台，所述晶圆放置台上方设有切割机构，晶圆放置台一侧设有除尘机构，所述除尘机构包括横向滑动连接在机架上的第一支撑座和第二支撑座，所述机架上设有用于驱动第一支撑座横向往复运动的第一静电发生机构，所述第一支撑座连有用于驱动第二支撑座横向往复运动的第二静电发生机构，所述第一支撑座上连有横向的橡胶棒，所述第二支撑座上连有横向的玻璃棒，所述橡胶棒端部与玻璃棒端部相对设置，所述橡胶棒上方的机架上横向滑动连接有与橡胶棒顶部相贴的毛皮摩擦层，且毛皮摩擦层的运动方向与第一支撑座的运动方向垂直，且机架上设有用于驱动毛皮摩擦层横向滑动的毛皮驱动机构，所述玻璃棒上方的机架上横向滑动连接有与玻璃棒顶部相贴的丝绸摩擦层，且机架上设有用于驱动丝绸横向滑动的丝绸驱动机构。

2.根据权利要求1所述的具有除尘机构的芯片切割机，其特征在于：所述第一静电发生机构包括气缸，所述气缸的输出杆与第一支撑座固定连接。

3.根据权利要求2所述的具有除尘机构的芯片切割机，其特征在于：所述第二静电发生机构包括相卡合的驱动棘爪和棘齿条，所述驱动棘爪铰接在第一支撑座上，所述棘齿条固定连接在第二支撑座上。

4.根据权利要求3所述的具有除尘机构的芯片切割机，其特征在于：所述第二支撑座与机架之间还连有复位机构，所述复位机构包括连接在第二支撑座与机架之间的复位弹簧，所述机架上还设有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的自由端连有连接板，所述连接板上设有与棘齿条相卡合的止回棘爪，所述第一支撑座竖向滑动连接有滑块，所述驱动棘爪铰接在滑块上，所述连接板上开设有横向滑槽，所述驱动棘爪滑动卡设在横向滑槽内。

5.根据权利要求4所述的具有除尘机构的芯片切割机，其特征在于：所述毛皮驱动机构包括液压缸，所述液压缸的输出杆与毛皮摩擦层固定连接，且液压缸的输出杆上设有若干个能与橡胶棒顶部相抵的抖动凸起。

6.根据权利要求5所述的具有除尘机构的芯片切割机，其特征在于：所述液压缸输出杆的自由端转动连接有转轴，且转轴与液压缸输出杆的自由端之间连有扭簧，所述毛皮摩擦层与转轴固定连接，所述转轴上固定并缠绕有绳索，所述绳索的自由端与液压缸固定连接。

7.根据权利要求6所述的具有除尘机构的芯片切割机，其特征在于：所述支撑架上还设有盛装有水的粉尘收集槽，所述粉尘收集槽位于橡胶棒下方。

8.根据权利要求7所述的具有除尘机构的芯片切割机，其特征在于：所述除尘机构还包括吹风机，所述吹风机与除尘机构分别位于切割机构两侧，所述吹风机的风口朝向除尘机构中的橡胶棒。