[发明专利]芯片清洗装置

说明书

本发明涉及电子元件加工技术领域，具体为芯片清洗装置，包括安装座，安装座连接有柔性的波纹板，波纹板一侧设置有安装架，安装架上连接有若干丝杠，安装架与波纹板之间设置有若干螺纹套，丝杠与螺纹套螺纹连接，丝杠自由端连接有清洗轴，清洗轴上设置有若干刷毛，清洗轴间歇插入波纹板的夹缝中。本发明解决了现有技术中波纹板夹杂污渍影响晶元加工环境和质量的问题。

技术领域

本发明涉及电子元件加工技术领域，具体为芯片清洗装置。

背景技术

芯片，是指内含集成电路的硅片，又称微电路、微芯片、集成电路。芯片体积很小，是计算机或其他电子设备的重要组成部分。

现有的芯片通常是从一大块晶元上切割下来，然后焊接在集成电路板上。现有技术中的晶元切割清洗装置，利用弹性的波纹板连接安装座，通过推动安装座带动其上的晶元往复移动，实现晶元上不同位置的切割，切割的过程中利用喷枪喷洒清洗剂对晶元进行清洗。该装置在使用的过程中，晶元切割清洗时产生的废屑和污水会夹杂和滞留在波纹板的夹缝中，长期以往，导致波纹板表面覆盖一层厚厚的污渍，严重影响晶元的加工环境，晶元切割的过程中这些污渍极易飞溅至晶元上对晶元造成污染，严重影响晶元的加工质量。

发明内容

本发明意在提供芯片清洗装置，以解决现有技术中波纹板夹杂污渍影响晶元加工环境和质量的问题。

为了达到上述目的，本发明提供如下技术方案：

芯片清洗装置，包括安装座，安装座连接有柔性的波纹板，波纹板一侧设置有安装架，安装架上连接有若干丝杠，安装架与波纹板之间设置有若干螺纹套，丝杠与螺纹套螺纹连接，丝杠自由端连接有清洗轴，清洗轴上设置有若干刷毛，清洗轴间歇插入波纹板的夹缝中。

本方案的原理为：

安装座用于安装晶元，波纹板用于连接安装座，通过驱动安装座往复移动即可对晶元的不同位置进行切割。安装架用于安装丝杠，丝杠与螺纹套螺纹连接，波纹板展开后，通过推动丝杠移动即可使得丝杠转动，丝杠用于带动清洗轴旋转的移动至波纹板的夹缝中，利用清洗轴上的刷毛刷去粘附在波纹板上的废屑和积留在波纹板上的污水，由此实现对波纹板的清洗。

本方案的有益效果为：

1、通过在波纹板展开时推动丝杠移动，使得丝杠带动清洗轴边转动边移动至波纹板的夹缝中，利用清洗轴上的刷毛刷去滞留在波纹板上的杂质、并吸附波纹板上的污水，实现了波纹板的清洗，改善了晶元的加工环境，能够防止波纹板上的污渍粘附至晶元上。

2、清洗轴与丝杠连接，丝杠复位时能够带动清洗轴朝向螺纹套移动，清洗轴上的刷毛穿过螺纹套时，螺纹套能够挤压刷毛，将刷毛上吸附的污水拧干。

进一步，安装座上设置有放置盘，放置盘上设置有放置槽，安装座一侧设置有涡流管，涡流管的热气端连通有热气管，热气管自由端位于放置槽上方且朝向放置槽。放置盘上的放置槽用于放置晶元，涡流管用于将空气转换为热气，晶元切割清洗完成后，利用热气烘干晶元上的多余水分，便于后续烘干晶元。

进一步，放置盘与安装座转动连接，放置盘边缘倾斜设置有若干旋转叶片，旋转叶片上也设置有刷毛，旋转叶片以放置盘的圆心为阵列中心环形阵列设置，涡流管的冷气端连通有冷气管，冷气管朝向旋转叶片。利用涡流管中喷出的气体冲击旋转叶片，驱动放置盘转动，使得晶元在烘干的同时转动，使得晶元与热气充分接触，晶元转动时还能够将其上的水分甩出，提高烘干的效果；旋转叶片转动时能够利用其上的刷毛刷去滞留在安装座上的杂质，利用涡流管喷出的冷却驱动旋转叶片，能够给旋转叶片上的刷毛降温，避免烘干芯片时热气对刷毛造成损坏。