[发明专利]一种真空镀膜设备的产品装夹装置

说明书

本发明公开了一种真空镀膜设备的产品装夹装置，包括旋转驱动轴,所述旋转驱动轴上套有镀膜保护挡板，所述镀膜保护挡板上安装有第一套绝缘装置，所述旋转驱动轴上套有第一轴承，所述第一轴承外套有第一碳刷导电机构，所述第一碳刷导电机构内安装有第一密封零件，所述旋转驱动轴上套有驱动齿轮，所述驱动齿轮与旋转驱动轴之间设有第二套绝缘装置，所述驱动齿轮边缘处啮合有驱动马达，所述旋转驱动轴上套有偏压支架，且位于驱动齿轮的上方，本发明涉及真空镀膜设备技术领域,调节电压，使离子束流排出尖角效应的干扰，达到深孔内表面镀膜，复杂曲面镀膜的目的，该装置为两套独立的旋转偏压系统。

技术领域

本发明涉及真空镀膜设备技术领域，具体为一种真空镀膜设备的产品装夹装置。

背景技术

所谓真空镀膜就是置待镀材料和被镀基板于真空室内，采用加热蒸发、磁控溅射、真空电弧或者化学气相沉积方式激发出等离子体，并飞行溅射到被镀基板表面凝聚成膜的工艺。

目前，只有1路和真空镀膜腔室绝缘的产品装夹装置，偏压直接施加在产品上，由于尖角效应，无法镀制深孔产品内表面，因此设计一种真空镀膜设备的产品装夹装置很有必要。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明提供了一种真空镀膜设备的产品装夹装置，解决了现有的只有1路和真空镀膜腔室绝缘的产品装夹装置，偏压直接施加在产品上，由于尖角效应，无法镀制深孔产品内表面的问题。

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种真空镀膜设备的产品装夹装置，包括旋转驱动轴,所述旋转驱动轴上套有镀膜保护挡板，所述镀膜保护挡板上安装有第一套绝缘装置，所述旋转驱动轴上套有第一轴承，所述第一轴承外套有第一碳刷导电机构，所述第一碳刷导电机构内安装有第一密封零件，所述旋转驱动轴上套有驱动齿轮，所述驱动齿轮与旋转驱动轴之间设有第二套绝缘装置，所述驱动齿轮边缘处啮合有驱动马达，所述旋转驱动轴上套有偏压支架，且位于驱动齿轮的上方，所述偏压支架与驱动齿轮之间设有第三套绝缘装置，所述偏压支架上设有第二碳刷导电机构，所述第二碳刷导电机构上设有从动轴承，所述旋转驱动轴下表面安装有旋转板，所述旋转板上表面边缘处设有产品支架，所述旋转板上表面边缘处且靠近产品支架处设有偏压板，所述旋转板上表面设有真空镀膜保护罩。

优选的，所述第一碳刷导电机构和第二碳刷导电机构均由碳刷和弹簧共同构成的。

优选的，所述第二套绝缘装置上设有旋转传感器：该旋转传感器用于感应。

优选的，所述旋转板下表面设有总固定板：该总固定板用于固定。

优选的，所述驱动马达公转速度0-20 r/min。

优选的，所述偏压板与产品支架的距离为1-50mm。

优选的，所述第一碳刷导电机构上设有偏压固定点。

有益效果

本发明提供了一种真空镀膜设备的产品装夹装置。具备以下有益效果:本装置具有2路和真空镀膜腔室绝缘的产品装夹装置，分别设计了产品支架和独立偏压装置，不同电压，使离子束流排出尖角效应的干扰，达到深孔内表面镀膜，复杂曲面镀膜的目的该装置为两套独立的旋转偏压系统。

附图说明

图1为本发明所述一种真空镀膜设备的产品装夹装置的结构示意图。

图2为本发明所述一种真空镀膜设备的产品装夹装置的正视图。

图3为本发明所述碳刷和弹簧的示意图。