[发明专利]一种新的真空镀膜设备的偏压系统

说明书

本发明公开了一种新的真空镀膜设备的偏压系统，包括支撑架、驱动马达、齿轮驱动装置、绝缘零件、三对相同结构的第一固定螺栓、旋转轴、偏压引入装置、两对相同结构的碳刷、固定板、一对相同结构的轴承、真空密封装置、四对相同结构的第二固定螺栓以及绝缘板共同构成的,所述驱动马达安置于支撑架上表面，所述齿轮驱动装置安置于驱动马达的旋转端上，所述绝缘零件安置于齿轮驱动装置内，三对所述第一固定螺栓安置于绝缘零件上，本发明涉及真空镀膜设备领域，该装置为两套独立的旋转偏压系统，提高薄膜粘附性、增加离子透过率、改善膜层均匀性和达到复杂曲面形状的镀膜的目的，使用起来更加的方便，结构相对简单。

技术领域

本发明涉及真空镀膜设备领域，具体为一种新的真空镀膜设备的偏压系统。

背景技术

真空镀膜是一种由物理或者化学方法产生薄膜材料的技术，在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。此项技术可以用于生产光学镜片，如航海望远镜镜片等；以及其他功能薄膜，唱片镀铝、装饰镀膜和材料表面改性等，如手表外壳镀仿金色，机械刀具镀膜，改变加工硬性。真空镀膜有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀和纯离子镀膜。

当前的真空镀膜设备，只有一路旋转型的产品偏压装置，不能改变膜层性能，薄膜粘附性不好，离子透过率不高，因此为了解决这一问题，设计一种新的真空镀膜设备的偏压系统是非常有必要的。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明提供了一种新的真空镀膜设备的偏压系统，解决了不能改变膜层性能，薄膜粘附性不好，离子透过率不高的问题。

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种新的真空镀膜设备的偏压系统，包括支撑架、驱动马达、齿轮驱动装置、绝缘零件、三对相同结构的第一固定螺栓、旋转轴、偏压引入装置、两对相同结构的碳刷、固定板、一对相同结构的轴承、真空密封装置、四对相同结构的第二固定螺栓以及绝缘板共同构成的,所述驱动马达安置于支撑架上表面，所述齿轮驱动装置安置于驱动马达的旋转端上，所述绝缘零件安置于齿轮驱动装置内，三对所述第一固定螺栓安置于绝缘零件上，所述旋转轴插装于绝缘零件内，所述偏压引入装置套装于旋转轴上，两对所述碳刷安置于偏压引入装置上，所述固定板上开设有第一圆形开口，所述第一圆形开口处开设有环形凹槽，所述真空密封装置套装于旋转轴上，且位于真空密封装置位于环形凹槽内，一对所述轴承套装于旋转轴上，且一对所述轴承安置于环形凹槽内，所述绝缘板安置于真空密封装置上。

优选的，所述绝缘板下表面设有防滑板：该防滑板用于增加摩擦力。

优选的，所述支撑架上开设有一对固定孔：该固定孔用于固定。

优选的，所述旋转轴上设有固定卡扣：该固定卡扣用于固定。

优选的，所述旋转轴上开设有第一圆形通孔：该第一圆形通孔用于固定。

优选的，所述驱动马达通过螺栓与支撑架连接：该螺栓用于拆卸。

有益效果

本发明提供了一种新的真空镀膜设备的偏压系统。具备以下有益效果：该装置为两套独立的旋转偏压系统，提高薄膜粘附性、增加离子透过率、改善膜层均匀性和达到复杂曲面形状的镀膜的目的，使用起来更加的方便，结构相对简单。

附图说明

图1为本发明所述一种新的真空镀膜设备的偏压系统的结构示意图。

图2为本发明所述一种新的真空镀膜设备的偏压系统的主视图。

图3为本发明所述一种新的真空镀膜设备的偏压系统的俯视图。

图4为本发明所述一种新的真空镀膜设备的偏压系统的侧视图。