[发明专利]半导体、太阳能电池用印刷掺杂浆料在审
申请号: | 201810971967.2 | 申请日: | 2018-08-24 |
公开(公告)号: | CN110858614A | 公开(公告)日: | 2020-03-03 |
发明(设计)人: | 李平;徐芳荣;池田武史 | 申请(专利权)人: | 东丽先端材料研究开发(中国)有限公司 |
主分类号: | H01L31/0304 | 分类号: | H01L31/0304 |
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地址: | 200241 上海市闵行*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 太阳能电池 用印 掺杂 浆料 | ||
1.一种用于太阳能电池和半导体的可印刷掺杂浆料,其特征在于,含有:
掺杂剂A、
聚合物B、
有机硅C、
增稠剂D、和
混合溶剂E;
其中,
所述有机硅C为含有式1所示结构片段的聚合物:
其中,式1中R1为氢、羟基、烷基或烷氧基中的任意一种;
R2为含杂原子的烷基或氢;
p=0~8,q=0~8,且p+q=1~8。
2.根据权利要求1所述的用于太阳能电池和半导体的可印刷掺杂浆料,其特征在于:所述R1为氢或羟基。
3.根据权利要求1所述的用于太阳能电池和半导体的可印刷掺杂浆料,其特征在于:所述R2为碳原子数为1~6且含杂原子的烷基,其中所含杂原子为O、S或N。
4.根据权利要求1所述的用于太阳能电池和半导体的可印刷掺杂浆料,其特征在于:所述p=0~6,q=0~6,且p+q=1~6。
5.根据权利要求4所述的用于太阳能电池和半导体的可印刷掺杂浆料,其特征在于:所述式1中结构为环氧乙烷基、环氧丙烷基、环氧丁烷基、环氧戊烷基、1,3-环氧丙烷基、1,4-环氧丁烷基、1,5-环氧戊烷基或1,6-环氧己烷基中的任意一种。
6.根据权利要求1所述的用于太阳能电池和半导体的可印刷掺杂浆料,其特征在于:所述有机硅C中还含有由式1环氧基团开环得到的下述式2所示的结构片段:
所述式2结构片段的摩尔含量即开环率r/(r+m)=0~50%。
7.根据权利要求6所述的用于太阳能电池和半导体的可印刷掺杂浆料,其特征在于:所述开环率r/(r+m)=0~30%。
8.根据权利要求6所述的用于太阳能电池和半导体的可印刷掺杂浆料,其特征在于:所述开环率r/(r+m)=0~10%。
9.根据权利要求1所述的用于太阳能电池和半导体的可印刷掺杂浆料,其特征在于:所述掺杂剂A为硼或磷化合物。
10.根据权利要求9所述的用于太阳能电池和半导体的可印刷掺杂浆料,其特征在于:所述掺杂剂A为无机硼化合物或无机磷化合物。
11.根据权利要求10所述的用于太阳能和半导体的可印刷掺杂浆料,其特征在于:所述掺杂剂A为硼酸或三氧化二硼。
12.根据权利要求1所述的用于太阳能电池和半导体的可印刷掺杂浆料,其特征在于:所述增稠剂D为水溶性聚合物。
13.根据权利要求12所述的用于太阳能电池和半导体的可印刷掺杂浆料,其特征在于:所述增稠剂D选自甲基纤维素、乙基纤维素、丙基纤维素、羟甲基纤维素、羟乙基纤维素、羟丙基纤维素、羧甲基纤维素、甲基羟乙基纤维素、乙基羟乙基纤维素、甲基羟丙基纤维素、醋酸纤维素、醋酸丁酸纤维素、聚丙烯酰胺、聚乙烯醇、聚乙烯吡咯烷酮、聚氧化乙烯、卡波树脂、聚丙烯酸、聚丙烯酸酯或聚氨酯中的一种或多种。
14.根据权利要求13所述的用于太阳能电池和半导体的可印刷掺杂浆料,其特征在于:所述增稠剂D选自聚氨酯、聚丙烯酰胺、聚乙烯吡咯烷酮或聚丙烯酸酯中的一种或多种。
15.一种杂质扩散层的形成方法,其特征在于其含有如下步骤:
使用权利要求1~14所述的可印刷掺杂浆料在硅基板的一侧整面印刷,或在硅基板的一侧或两侧上局部印刷掺杂浆料,干燥得到涂源层;经扩散使涂源层中的硼扩散至基板中形成杂质扩散层或局部掺杂区。
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