[发明专利]一种喷墨打印方法及喷墨打印装置有效

专利信息
申请号: 201810972490.X 申请日: 2018-08-24
公开(公告)号: CN109256463B 公开(公告)日: 2023-04-28
发明(设计)人: 程磊磊 申请(专利权)人: 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
主分类号: H10K71/13 分类号: H10K71/13
代理公司: 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人: 郭润湘
地址: 230012 *** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 喷墨 打印 方法 装置
【说明书】:

发明公开了一种喷墨打印方法及喷墨打印装置,对衬底基板上的各打印区域均需要进行N次喷墨打印形成目标膜层;以一次喷墨打印或者每相邻的m次喷墨打印为一个批次;针对各打印区域,时间越靠后的打印批次,其在进行喷墨打印时采用的墨水的浓度越高。这样,当时间靠后的批次打印时,时间靠前的批次所打印的墨水由于溶剂挥发导致墨水的浓度已经较打印时变高,因此增大时间靠后的打印批次内采用的墨水的浓度,从而使打印区域内经过多次打印的墨水浓度一致,避免了由于多次打印时墨水浓度不一致导致薄膜产生颗粒状结晶的问题。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域,尤指一种喷墨打印方法及喷墨打印装置。

背景技术

OLED是一种利用有机半导体材料制成的薄膜发光器件,其具有自发光的特性。随着需求提升,柔性及可穿戴的OLED器件的主要研究方向为有机薄膜晶体管(organic thinfilm transistor,OTFT)器件的研究。OTFT器件有机薄膜的制备方法灵活简便,如Langmuir-Blodgett(LB)技术、分子自组装技术、真空蒸镀、喷墨打印等;其次有机薄膜的制备工艺对设备要求比较低,不需要高温热处理,从而降低了生产成本。

喷墨打印是目前用于制备OTFT器件有机薄膜的常用方法。喷墨打印技术是将数字图形直接通过相应设备传递到衬底上形成图案化薄膜,因此不需要原始的模板,同时可以高效的实现有机薄膜在柔性和大面积衬底上的图案化加工。

OTFT器件中的有机半导体层作为载流子传输的主要膜层,在成膜时一般需要多次喷墨打印形成,当前一行程打印在衬底上的墨水以及开始干燥,部分已经开始凝固或结晶,该行程剩余的墨水浓度已经发生变化,与后一行程的墨水接触后产生了浓度差,使得溶质发生流动,薄膜中不同区域的溶质凝固结晶因时间不一致产生的相差,从而导致形成的薄膜产生颗粒状结晶;有机半导体层作为载流子传输的膜层,在器件工作时,连续的电荷传输通道因颗粒状结晶或梳齿状结晶使部分电荷被晶界阻挡,影响OTFT的电学特性,例如迟滞,偏压稳定性等,进而影响器件的显示品质。

发明内容

有鉴于此,本发明实施例提供一种喷墨打印方法及喷墨打印装置,用以喷墨打印的质量。

本发明实施例提供的一种喷墨打印方法,对衬底基板上的各打印区域均需要进行N次喷墨打印形成目标膜层;其中,N为大于1的整数;

以一次喷墨打印或者每相邻的m次喷墨打印为一个批次,其中m为大于1且小于N的整数;

针对各所述打印区域,时间越靠后的打印批次,其在进行喷墨打印时采用的墨水的浓度越高。

可选地,在本发明实施例提供的喷墨打印方法中,每一批次包括一次喷墨打印;

针对各所述打印区域,任意相邻两次喷墨打印时采用的墨水中溶剂的含量差相同。

可选地,在本发明实施例提供的喷墨打印方法中,针对各所述打印区域,相邻两次喷墨打印时采用的墨水中溶剂的含量差根据相邻两次喷墨打印的间隔时间和溶剂的挥发速率确定。

可选地,在本发明实施例提供的喷墨打印方法中,相邻两次喷墨打印时采用的墨水中溶剂的含量差Y=V0*t;其中,t为相邻两次喷墨打印的间隔时间,V0为溶剂的挥发速率。

可选地,在本发明实施例提供的喷墨打印方法中,每一批次包括相邻的m次喷墨打印,针对各所述打印区域,同一批次内的m次喷墨打印时采用的墨水的浓度相同。

可选地,在本发明实施例提供的喷墨打印方法中,针对各所述打印区域,任意相邻两个批次喷墨打印时采用的墨水中溶剂的含量差相同。

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