[发明专利]硫酸+草酸混酸阳极氧化工艺

说明书

本发明属于一种耐腐蚀性硬质阳极氧化工艺技术领域。具体是一种硫酸+草酸混酸阳极氧化工艺，(1)采用硫酸+草酸混合槽液，其中草酸为主要成份浓度为50g/L，硫酸为辅助成份浓度为2g/L；(2)对铝合金材料工件进行阳极化，控制温度为4‑6℃，调整电流密度为1‑3A/dm²，升流时间为5‑10min，反应时间为3‑4h，要求膜厚50‑100um；(3)阳极达到膜厚后，采用92‑100℃纯水封孔3‑4小时，得到具有较高耐腐性氧化膜。对铝合金材料工件进行硫酸+草酸混合槽液阳极氧化处理，使得阳极表面具有硫酸硬质阳极外观特性，又具有草酸阳极较高耐腐蚀性能，混酸硬质阳极氧化工艺阳极具有明显硬质阳极性质，得到较高的膜层厚度，具有较高硬度及耐腐蚀性能。

技术领域

本发明属于耐腐蚀性硬质阳极氧化工艺技术领域，特别是涉及一种耐腐蚀性硬质阳极氧化工艺，适用于IC装配关键耐腐蚀性反应腔体硬质阳极工艺。

背景技术

耐腐蚀性硬质阳极氧化工艺，有其特别的重要性。硬质阳极工艺由于其特殊性能在工业生产中有着广泛的应用，IC领域中对硬质阳极工艺性能要气越来越高，尤其阳极膜的耐腐蚀性能，其广泛应用与关键反应腔体及其它关键零部件，开发具有较高耐腐蚀硬质阳极，提高设备性能及使用寿命有重要意义。

发明内容

针对上述存在的技术问题，本发明提供一种硫酸+草酸混酸硬质阳极氧化工艺，对铝合金材料工件在硫酸+草酸混合酸液中进行阳极氧化处理，通过控制阳极过程中两种酸的比例，反应温度，及电流密度等。从而得到致密的氧化膜，具有硫酸硬质阳极外观特性，又具有草酸阳极较高耐腐蚀性能。

本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：

一种硫酸+草酸混酸阳极氧化工艺，

(1)采用硫酸+草酸混合槽液，其中草酸为主要成份浓度为50g/L，硫酸为辅助成份浓度为2g/L；

(2)对铝合金材料工件进行阳极化，控制温度为4-6℃，调整电流密度为1-3A/dm²，升流时间为5-10min，反应时间为3-4h，要求膜厚50-100um；

(3)阳极达到膜厚后，采用92-100℃纯水封孔3-4小时，得到具有较高耐腐性氧化膜。具有硫酸硬质阳极外观特性，又具有草酸阳极较高耐腐蚀性能。

本发明的优点是：

本发明对铝合金材料工件进行硫酸+草酸混合槽液阳极氧化处理，通过控制两种酸的比例，使得阳极表面具有硫酸硬质阳极外观特性，又具有草酸阳极较高耐腐蚀性能，通过不断尝试，混酸硬质阳极氧化工艺阳极具有明显硬质阳极性质，得到较高的膜层厚度，具有较高硬度及耐腐蚀性能。

具体实施方式

下面结合实施例对本发明进行详细描述。

一种硫酸+草酸混酸阳极氧化工艺，

(1)采用硫酸+草酸混合槽液，其中草酸为主要成份浓度为50g/L，硫酸为辅助成份浓度为2g/L；

(2)对铝合金材料工件进行阳极化，控制温度为4-6℃，调整电流密度为1-3A/dm²，升流时间为5-10min，反应时间为3-4h，要求膜厚50-100um；

(3)阳极达到膜厚后，采用92-100℃纯水封孔3-4小时，得到具有较高耐腐性氧化膜。具有硫酸硬质阳极外观特性，又具有草酸阳极较高耐腐蚀性能。

本发明可有效提高工件的耐腐蚀性能的阳极膜，使用5％wt的盐酸溶液经行Bubble Test，即将玻璃管使用遮封胶水，粘附在试片表面，在玻璃管内加入测试用5％wt盐酸溶液液位高2-3cm，测试区域溶液同一个点在一秒钟内连续冒三个以上气泡，代表测试结束，记录结束时间。耐腐蚀性硫酸硬质阳极氧化工艺试片耐腐蚀性测试时间达到8h以上。