[发明专利]一种扫描驱动器及光纤扫描器

权利要求书

1.一种扫描驱动器，其特征在于，包括一体成型并沿从后向前的方向依次连接的第一致动部、隔离部和第二致动部，第一致动部沿第一轴方向振动，第二致动部沿第二轴方向振动，第一轴和第二轴均垂直于前后方向且相互不平行，所述的第一致动部和第二致动部中至少有一个为片状堆叠压电材料致动器，

所述的片状堆叠压电材料致动器包括中部隔离片，中部隔离片的一侧依次堆叠有多个平行于中部隔离片的第一压电材料片，中部隔离片的另一侧依次堆叠有多个平行于中部隔离片的第二压电材料片，每个第一压电材料片和每个第二压电材料片均具有两个平行于中部隔离片的第一表面，每个第一压电材料片和每个第二压电材料片的第一表面均布设有一层电极。

2.如权利要求1所述的一种扫描驱动器，其特征在于，当所述的第一致动部为片状堆叠压电材料致动器时，第二致动部为双压电晶片致动器、压电材料管致动器、多层管嵌套压电材料致动器或片状堆叠压电材料致动器，当所述的第二致动部为片状堆叠压电材料致动器时，第一致动部为双压电晶片致动器、压电材料管致动器、多层管嵌套压电材料致动器或片状堆叠压电材料致动器。

3.如权利要求2所述的一种扫描驱动器，其特征在于，所述的双压电晶片致动器包括中部隔离片，中部隔离片的两侧贴覆有一片压电材料片，每个压电材料片的两个平行于中部隔离片的表面均设置有一层电极层。

4.如权利要求2所述的一种扫描驱动器，其特征在于，所述的压电材料管致动器包括压电材料管，压电材料管的外表面设置有至少一对关于压电材料管的轴心线对称的外电极，压电材料管的内表面设置有与所述外电极相配合的内电极。

5.如权利要求2所述的一种扫描驱动器，其特征在于，所述的多层管嵌套压电材料致动器包括至少两层压电材料管，所述的压电材料管沿径向依次紧密套装，每层压电材料管的外部均设置有至少一对关于压电材料管的轴心线对称的外电极，每层压电材料管的内部均设置有与所述外电极相配合的内电极。

6.如权利要求1-5中任意一项所述的一种扫描驱动器，其特征在于，第二致动部的各电极均连接有薄膜导电层，各薄膜导电层均绝缘贴覆于扫描驱动器的表面并延伸至第一致动部的后端部。

7.如权利要求1-6中任意一项所述的一种扫描驱动器，其特征在于，还包括与第一致动部一体成型的固定部。

8.如权利要求7中任意一项所述的一种扫描驱动器，其特征在于，延伸至第一致动部后端的第二致动部的薄膜导电层继续延伸至固定部的后端并绝缘贴覆于固定部的外表面。

9.如权利要求7所述的一种扫描驱动器，其特征在于，固定部设置有用于连接第一致动部的各电极的薄膜导电层，每个薄膜导电层一端对应连接一个第一致动部的电极，另一端延伸至固定部的后端。

10.一种光纤扫描驱动器，其特征在于，包括如权利要求1-9中任意一项所述的一种扫描驱动器和光纤，光纤与扫描驱动器固定连接且光纤的前端超出扫描驱动器形成光纤悬臂。