[发明专利]一种用于装载近局域电极的双束系统样品台有效
| 申请号： | 201810977038.2 | 申请日： | 2018-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN109346391B | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 沙刚;吴琴莉;靳慎豹;胡蓉 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/28 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 邹伟红 |
| 地址： | 210094 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 装载 局域 电极 系统 样品 | ||
1.一种用于装载近局域电极的双束系统样品台，所述的样品台包括：样品台主体(1)，燕尾形样品槽(2)，方形卡槽(4)，内六角紧定螺钉(5)以及固定杆(3)，固定杆(3)与样品台主体(1)底部中心垂直；所述的样品台主体(1)内设置有燕尾形样品槽(2)；所述的燕尾形样品槽(2)用于装载近局域电极；所述的燕尾形样品槽(2)底部设置有方形卡槽(4)，所述的方形卡槽(4)用于卡紧近局域电极；所述的内六角紧定螺钉(5)通过方形卡槽(4)顶住近局域电极底部的销钉以进一步固定近局域电极；所述的固定杆(3)用于连接聚焦离子束/扫描电镜双束系统旋转底座。
2.根据权利要求1所述的用于装载近局域电极的双束系统样品台，其特征在于，所述的样品台主体(1)上设有燕尾形样品槽(2)。
3.根据权利要求1所述的用于装载近局域电极的双束系统样品台，其特征在于，所述的固定杆(3)一端与聚焦离子束/扫描电镜双束系统旋转底座连接，一端与样品台主体(1)连接；与旋转底座连接部分其形状要与底座预留连接装置匹配，高度根据需要确定。
4.根据权利要求1所述的用于装载近局域电极的双束系统样品台，其特征在于，样品台的材质为硬质铝合金。
5.根据权利要求1或2所述的用于装载近局域电极的双束系统样品台，其特征在于，所述的燕尾形样品槽(2)倒角为60°。
6.根据权利要求1所述的用于装载近局域电极的双束系统样品台，其特征在于，所述的内六角紧定螺钉(5)通过方形卡槽(4)顶住近局域电极底部的销钉以进一步固定近局域电极，所述的内六角紧定螺钉(5)其尺寸为M2，采用不锈钢制成。
7.根据权利要求2所述的用于装载近局域电极的双束系统样品台，其特征在于，所述的燕尾形样品槽(2)底部设置有方形卡槽(4)，方形卡槽宽度为2.0mm±0.1mm，方形卡槽(4)上端距离燕尾形样品槽(2)中心的距离为11.0mm±0.1mm。
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