[发明专利]随机激光清洗装置与方法有效
申请号: | 201810984404.7 | 申请日: | 2018-08-27 |
公开(公告)号: | CN108816964B | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 林学春;赵树森;张志研;王奕博;李达;梁浩;刘燕楠;马文浩 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | B08B7/00 | 分类号: | B08B7/00;B08B13/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 张宇园 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 随机 激光 清洗 装置 方法 | ||
1.一种随机激光清洗装置,其特征在于,所述装置包括:
一激光器,所述激光器中存在声光调Q并与声光调Q驱动电源相连,所述激光器中还存在激光模块并与激光模块驱动电源相连,同时激光器与一水冷机相连,用于激光器中激光模块、声光调Q和镜片的冷却,且所述声光调Q的重复频率范围为20kHz-25kHz;
一激光清洗头,通过一传能光纤与所述激光器相连;
一执行机构,所述激光清洗头安装在所述执行机构上,用于控制所述激光清洗头的运动路径;
一执行机构伺服控制系统,与所述执行机构相连,用于控制所述执行机构实现运动;
一随机信号发生器,连接所述执行机构伺服控制系统与声光调Q驱动电源,同时,通过所述随机信号发生器控制所述执行机构伺服控制系统,使所述执行机构在垂直于一维激光扫描方向运动速度随机,形成随机的搭接间距。
2.根据权利要求1所述的随机激光清洗装置,其特征在于,所述激光器为二极管泵浦全固态准连续激光器或光纤脉冲激光器。
3.根据权利要求1所述的随机激光清洗装置,其特征在于,所述激光清洗头内装有一维振镜或二维振镜,实现对目标的定位。
4.根据权利要求1所述的随机激光清洗装置,其特征在于,所述执行机构是机床、十字滑轨或工业机器人。
5.一种随机激光清洗方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:
步骤一:激光器通过声光调Q产生脉冲激光;
步骤二:所述脉冲激光通过水冷机进行冷却,通过传能光纤将所述脉冲激光传输至激光清洗头;
步骤三:执行机构夹持激光清洗头沿垂直激光扫描方向移动,其中,通过随机信号发生器控制执行机构伺服控制系统,使所述执行机构在垂直于一维激光扫描方向运动速度随机,形成随机的搭接间距;
其中,设置声光调Q的重复频率范围20kHz-25kHz,通过随机信号发生器,控制其重复频率在20kHz-25kHz范围内随机产生。
6.根据权利要求5所述的随机激光清洗方法,其特征在于,所述步骤一还包括:
通过随机信号发生器控制声光调Q驱动电源产生随机重复频率的脉冲激光。
7.根据权利要求6所述的随机激光清洗方法,其特征在于,所述方法还包括:
将随机的搭接间距限定在激光束焦班直径d的介于0.5倍至1.5倍之间,平均值为激光束焦班直径d的1倍。
8.根据权利要求5或6所述随机激光清洗方法,其特征在于:
激光清洗头为一维振镜时,通过随机信号发生器控制执行机构伺服控制系统,使执行机构在沿垂直于一维激光扫描方向运动的搭接间距在一定范围内随机,这个范围设定为激光束焦班直径d的0.5倍-1.5倍以内,平均值为激光束焦班直径d的1倍;
激光清洗头为二维振镜时,通过随机信号发生器控制所述二维振镜的振镜电机驱动卡,控制振镜电机的转速,使二维振镜电机运动的搭接间距在一定范围内随机,这个范围设定为激光束焦班直径d的0.5倍-1.5倍以内,平均值为激光束焦班直径d的1倍。
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