[发明专利]一种阳极真空铸靶炉在审
| 申请号： | 201810984709.8 | 申请日： | 2018-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN108788103A | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 王炳;唐天权 | 申请（专利权）人： | 爱克斯瑞真空技术（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | B22D25/02 | 分类号： | B22D25/02;B22D21/02;B22D35/06 |
| 代理公司： | 苏州中合知识产权代理事务所(普通合伙) 32266 | 代理人： | 伍兵 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市吴中区越溪街*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 靶炉 置入装置 阳极 加热电极 加热装置 检测装置 扩散泵 规管 推杆 对称设置 内腔连通 生产需求 相应部件 有机械泵 重组技术 主体内腔 电控柜 放气阀 智能化 内腔 铜棒 支架 机械化 测量 支撑 | ||
1.一种阳极真空铸靶炉，包括铸靶炉主体以及支撑铸靶炉主体的支架，其特征在于，还包括有：
材料置入装置，所述材料置入装置对称设置在铸靶炉主体的两端，所述材料置入装置包括有放气阀、推杆；
真空生成检测装置，所述真空生成检测装置包括有机械泵、扩散泵以及若干个电子规管，所述电子规管用于测量铸靶炉主体内腔的真空度，所述扩散泵安装在铸靶炉主体上，并和铸靶炉主体的内腔连通；
加热装置，所述加热装置包括有一加热电极，所述加热电极设置在铸靶炉主体的内腔；
冷却成型装置，所述冷却成型装置包括有一进水口和一出水口，所述进水口、出水口均设置在铸靶炉主体上；
外部控制装置，所述外部控制装置包括一电控柜，所述电控柜通过电缆分别连接所述加热电极、电子规管、热电偶、机械泵以及扩散泵。
2.根据权利要求1所述的一种阳极真空铸靶炉，其特征在于，所述铸靶炉主体的顶部设有一热电偶，用于检测铸靶炉主体内腔的温度。
3.根据权利要求1所述的一种阳极真空铸靶炉，其特征在于，所述冷却成型装置通过一冷却腔连接加热电极。
4.根据权利要求1所述的一种阳极真空铸靶炉，其特征在于，所述电子规管安装在一连接管上，所述连接管的一端连接扩散泵，另外一端密封。
5.根据权利要求1所述的一种阳极真空铸靶炉，其特征在于，所述铸靶炉主体还连接有一高压装置。
6.根据权利要求1所述的一种阳极真空铸靶炉，其特征在于，所述电控柜上设有一显示屏。
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