[发明专利]漩涡式探针、探针测试装置、探针卡系统及多晶片模块的失效分析方法

权利要求书

1.一种漩涡式探针，其特征在于，包括：

一针体；

一连接部，包括一垂直部及一水平部；以及

一漩涡弹簧，连接该针体与该连接部，该漩涡弹簧包含一圈以上的旋绕体，该些旋绕体彼此共平面，且该些旋绕体的轴心与该针体的长轴方向正交，该水平部连接该垂直部与最内圈的该旋绕体，该水平部的一长轴方向与该些旋绕体的该轴心相互平行，该水平部的该长轴方向与该垂直部的一长轴方向相互正交，其中该针体相对该漩涡弹簧的一端具有一针尖，该针体的另端连接最外圈的该旋绕体。

2.根据权利要求1所述的漩涡式探针，其特征在于，该漩涡式探针包含一导电陶瓷弹簧。

3.根据权利要求1所述的漩涡式探针，其特征在于，该漩涡弹簧包含1.75圈～2圈的该些旋绕体。

4.一种探针测试装置，其特征在于，包括：

一电路板；以及

一探针模块，包含一载针座与至少一漩涡式探针，该载针座位于该电路板的一侧，该漩涡式探针配置于该载针座上，电性连接该电路板，用以接触一待测物，该漩涡式探针包含一针体、一连接部与一漩涡弹簧，该针体相对该漩涡弹簧的一端具有一针尖，该漩涡弹簧连接该针体与该连接部，该连接部包括一垂直部及一水平部，该漩涡弹簧包含一圈以上的旋绕体，该些旋绕体彼此共平面，且该些旋绕体的轴心与该针体的长轴方向正交，该水平部连接该垂直部与最内圈的该旋绕体，该水平部的一长轴方向与该些旋绕体的该轴心相互平行，该水平部的该长轴方向与该垂直部的一长轴方向相互正交，该针体的另端连接最外圈的该旋绕体。

5.根据权利要求4所述的探针测试装置，其特征在于，该漩涡式探针包含一导电陶瓷弹簧。

6.根据权利要求4所述的探针测试装置，其特征在于，该漩涡弹簧包含1.75圈～2圈的该些旋绕体。

7.根据权利要求4所述的探针测试装置，其特征在于，该载针座具有一容置空间，该漩涡弹簧完全位于该容置空间内。

8.一种探针卡系统，其特征在于，包括：

一平台，具有一承载面，用以承载一待测物，其中该待测物包含一本体、至少一导电接点与多个定位柱，该本体具有一电路媒介，该导电接点曝露于该本体的一面，且电性连接该电路媒介，该些定位柱分别位于该本体内，与该电路媒介电性绝缘，每一该些定位柱的一端面曝露于该本体的该面；

一定位模块，位于该承载面上方，用以依据该些定位柱的该些端面，对该待测物进行定位；以及

一探针测试装置，位于该承载面上方，包括：

一电路板；以及

一探针模块，包含一载针座与至少一漩涡式探针，该载针座位于该电路板的一侧，该漩涡式探针配置于该载针座上，电性连接该电路板，该漩涡式探针包含一针体、一连接部与一漩涡弹簧，该针体相对该漩涡弹簧的一端具有一针尖，用以接触该待测物的该导电接点，该漩涡弹簧连接该针体与该连接部，该连接部包括一垂直部及一水平部，该漩涡弹簧包含一圈以上的旋绕体，该些旋绕体彼此共平面，且该些旋绕体的轴心与该针体的长轴方向正交，该水平部连接该垂直部与最内圈的该旋绕体，该水平部的一长轴方向与该些旋绕体的该轴心相互平行，该水平部的该长轴方向与该垂直部的一长轴方向相互正交，该针体的另端连接最外圈的该旋绕体，

当该探针模块沿一移动方向直线移至该待测物时，该移动方向与该些旋绕体的该轴心正交。

9.根据权利要求8所述的探针卡系统，其特征在于，该漩涡式探针包含一导电陶瓷弹簧。

10.根据权利要求8所述的探针卡系统，其特征在于，该漩涡弹簧包含1.75圈～2圈的该些旋绕体。

11.根据权利要求8所述的探针卡系统，其特征在于，该载针座具有一容置空间，该漩涡弹簧完全位于该容置空间内。

12.根据权利要求8所述的探针卡系统，其特征在于，每一该些定位柱的该端面呈矩形、十字形或交叉型。