[发明专利]双层彩色滤光器及其形成方法

权利要求书

1.一种双层彩色滤光器的形成方法，其特征在于，包括：

提供固态影像器件，在所述固态影像器件上形成第一彩色滤光片层；

刻蚀所述第一彩色滤光片层，形成具有第一凸面轮廓的第一滤光器；

在所述第一滤光器的所述第一凸面轮廓上形成第二彩色滤光片层；

刻蚀所述第二彩色滤光片层，形成具有第二凸面轮廓的第二滤光器。

2.根据权利要求1所述的双层彩色滤光器的形成方法，其特征在于，刻蚀形成的所述第一滤光器具有第一折射率，刻蚀形成的所述第二滤光器具有第二折射率，所述第一折射率不同于所述第二折射率。

3.根据权利要求2所述的双层彩色滤光器的形成方法，其特征在于，所述第一滤光器的所述第一折射率以及所述第二滤光器的所述第二折射率设置均在1.6～1.7之间。

4.根据权利要求1所述的双层彩色滤光器的形成方法，其特征在于，在所述固态影像器件上旋涂形成所述第一彩色滤光片层，以及在所述第一滤光器的所述第一凸面轮廓上旋涂形成所述第二彩色滤光片层。

5.根据权利要求1所述的双层彩色滤光器的形成方法，其特征在于，所述第一凸面轮廓以及所述第二凸面轮廓采用湿法刻蚀或干法刻蚀的方式形成，且所述第一凸面轮廓和所述第二凸面轮廓的边缘刻蚀速率与中心刻蚀速率不同。

6.一种用于图像传感器的双层彩色滤光器，其特征在于，多个所述双层彩色滤光器安装在图像传感器的固态影像器件上，每个所述双层彩色滤光器包括：第一滤光器和包覆在所述第一滤光器上的第二滤光器，每个所述双层彩色滤光器与所述固态影像器件的像素区域一一对应。

7.根据权利要求6所述的双层彩色滤光器，其特征在于，所述第一滤光器具有第一折射率，所述第二滤光器具有第二折射率，且所述第二折射率不同于第一折射率。

8.根据权利要求6或7所述的双层彩色滤光器，其特征在于，所述第一滤光器上表面为具有第一曲率半径的第一凸面轮廓，所述第二滤光器的上表面为具有第二曲率半径的第二凸面轮廓。

9.根据权利要求6所述的双层彩色滤光器，其特征在于，所述第一滤光器和所述第二滤光器的材料不同，且均为有机材料。

10.根据权利要求6所述的双层彩色滤光器，其特征在于，在同一个所述像素区域上对应设置的所述第一滤光器和所述第二滤光器具有相同的颜色。