[发明专利]带电粒子束装置、用于带电粒子束装置的孔布置和用于操作带电粒子束装置的方法

权利要求书

1.一种带电粒子束装置，包括：

带电粒子源，经配置以发射带电粒子束；

聚光透镜布置；

孔布置，经配置以产生所述带电粒子束的两个或更多个小束，其中所述孔布置包括至少第一孔板和第二孔板，所述第一孔板具有多个第一开口，所述第二孔板具有与所述多个第一开口不同的多个第二开口；

致动器组件，所述致动器组件经配置以移动所述第一孔板和所述第二孔板，使得所述多个第一开口或所述多个第二开口中的任一者定位在所述带电粒子束的路径中；

多极布置，经配置以作用在所述两个或更多个小束上，其中所述多极布置包括具有两个或更多个第一多极的第一多极级和具有两个或更多个第二多极的第二多极级；和

聚焦透镜阵列，在所述第一多极级与所述第二多极级之间，

其中所述孔布置经配置以使所述多个第一开口或所述多个第二开口与所述多极布置对准，

其中所述带电粒子束装置经配置而以第一操作模式和第二操作模式操作，所述第一操作模式使用所述第一孔板来产生所述两个或更多个小束并且使用所述聚光透镜布置的第一聚光透镜激发装置，所述第二操作模式使用所述第二孔板来产生所述两个或更多个小束并且使用所述聚光透镜布置的不同于所述第一聚光透镜激发装置的第二聚光透镜激发装置。

2.如权利要求1所述的带电粒子束装置，其中所述多个第一开口的直径不同于所述多个第二开口的直径。

3.如权利要求1所述的带电粒子束装置，其中所述致动器组件包括旋转致动器，所述旋转致动器经配置以使所述第一孔板和所述第二孔板围绕旋转轴线旋转。

4.如权利要求3所述的带电粒子束装置，其中所述致动器组件包括x-y致动器台，所述x-y致动器台经配置以使所述多个第一开口或所述多个第二开口与所述多极布置对准。

5.如权利要求1至4中任一项所述的带电粒子束装置，其中所述聚光透镜布置包括单个聚光透镜或两个或更多个聚光透镜，并且其中所述聚光透镜布置经配置以提供具有交叉的束路径或没有交叉的束路径。

6.如权利要求1至4中任一项所述的带电粒子束装置，其中所述聚光透镜布置具有可调整的透镜激发装置以用于进行如下操作中的至少一个：改变焦距和改变所述多极布置的照射角度。

7.如权利要求1至4中任一项所述的带电粒子束装置，其中所述多极布置经配置以进行如下操作中的至少一个：使所述两个或更多个小束偏转、校正像差和选择性地消隐所述两个或更多个小束。

8.如权利要求7所述的带电粒子束装置，进一步包括至少一个电压源，其中所述至少一个电压源经配置以施加第一电压到所述多极布置以使所述两个或更多个小束偏转，施加第二电压以校正像差，和施加第三电压以选择性地消隐所述两个或更多个小束。

9.如权利要求8所述的带电粒子束装置，其中所述至少一个电压源经配置以叠加所述第一电压、所述第二电压和所述第三电压中的至少两个电压。

10.如权利要求1所述的带电粒子束装置，其中所述多极布置包括具有两个或更多个第三多极的第三多极级。

11.如权利要求10所述的带电粒子束装置，其中所述第一多极级、所述第二多极级和所述第三多极级彼此独立。

12.如权利要求10所述的带电粒子束装置，其中所述第一多极级、所述第二多极级和所述第三多极级沿着所述两个或更多个小束的束路径连续地布置。