[发明专利]晶硅太阳能电池管式PECVD预热储舟装置及镀膜方法

说明书

本发明涉及一种晶硅太阳能电池管式PECVD预热储舟装置及镀膜方法，取消原储舟架，在原储舟架位置及同一直线上增加传动轨道A和传动轨道B，传动轨道B正上方装有预热储舟箱，传动托盘在两个轨道之间滑动。工作时，传动托盘先位于轨道A上，机械臂将石墨舟装到传动托盘上，传动托盘携带石墨舟运送至轨道B上装载到预热储舟箱内，在箱内利用等待空管的时间对石墨舟预热，同时利用空气中的氧气对硅片氧化，可节省刻蚀下料处的臭氧氧化工序，待有空管时，传动托盘及石墨舟被传送至轨道A上，之后进入空管镀膜。由于石墨舟已经提前预热并氧化，使镀膜工艺省去了原有的升温步骤，管内整个工艺周期缩短了13.7min左右，产量提升了50％。

技术领域

本发明涉及晶硅太阳能电池中管式PECVD生产工序，特别是一种晶硅太阳能电池管式PECVD预热储舟装置及镀膜方法。

背景技术

在太阳能电池生产PECVD工序中，硅片从刻蚀机流出后先经过臭氧工位在镀膜面形成一层3nm的氧化硅层，之后硅片被插入石墨舟内，插片完成后，石墨舟被机械臂装到储舟架上，待有空管后该舟会进入到空管进行镀膜,整管镀膜时间在38min左右。加上机械臂载、卸舟，整个工艺周期为41min。进入管内后主要工艺步骤为：进舟—升温—恒温—抽空—淀积—出舟，淀积步骤只占整个工艺时间的27.3％，而升温、恒温时间占整个工艺时间的34％，较长时间的升温步极大影响了管式PECVD的产量。且臭氧工位在臭氧的形成过程中需要增加额外的设备，同时需要消耗氧气、压空等。臭氧生产过程中如果控制不当，臭氧还会泄露到空气中造成污染。

发明内容

本发明为了克服现有技术的缺陷，提出了一种晶硅太阳能电池管式PECVD预热储舟装置及镀膜方法，在石墨舟进石英管之前，将石墨舟通过本发明的预热储舟装置进行预热，同时氧化，在硅片表面形成氧化硅薄膜层，该装置充分利用石墨舟等待空管的时间对石墨舟提前预热和氧化，省去了PECVD工序镀膜工艺的升温步骤，一管工艺运行时间从原来的40.7min缩短至27min，一管工艺运行时间缩短13.7min左右，整体下来可将产量提升50％，且可以免去刻蚀工序下料处的臭氧氧化处理工位，具有极大的实用性。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的一种晶硅太阳能电池管式PECVD预热储舟装置，包括传动轨道A、传动轨道B、第一固定架、第二固定架、传动托盘，其中，传动轨道A固定于第一固定架，传动轨道B固定于第二固定架，且该传动轨道A和传动轨道B的中心轴线位于同一条直线上；

所述的传动轨道A上设置有多个传动滚轴，多个传动滚轴均匀排布，每个传动滚轴的一端均连接有传动齿轮，传动轨道B与传动轨道A的结构相同；所述的传动齿轮与动力机构连接，每个传动轨道外设置一套动力机构，动力机构带动传动齿轮转动，传动齿轮带动传动滚轴转动，且传动轨道A与传动轨道B上的传动滚轴同步转动；

所述的传动轨道B上还固定有预热储舟箱，该预热储舟箱为一个半封闭的箱体，箱体左侧面封闭，右侧面及底面敞开，预热储舟箱固定到传动轨道B上后与传动轨道B的接触面之间形成密封，该预热储舟箱外层为保护壳，内层为石英玻璃层，中间层为耐火材料及隔热层；

所述的传动托盘上设置有2个石墨舟固定架；传动托盘的一端还固定有一箱门，该箱门为预热储舟箱的右侧箱门，当石墨舟随传动托盘在传动滚轴的作用下从传动轨道A完全进入传动轨道B及预热储舟箱内后，该箱门将预热储舟箱右侧封闭，石墨舟处于预热储舟箱和传动托盘形成的密闭腔体内。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术方案进一步实现。

前述的一种晶硅太阳能电池管式PECVD预热储舟装置，其中，传动轨道A和传动轨道B的尺寸相同。