[发明专利]一种薄膜太阳能电池的处理方法及装置

权利要求书

1.一种薄膜太阳能电池的处理方法，包括：

形成包含有衬底、硫化镉层和光吸收层的叠层；

将所述叠层放入加热器中，对所述叠层进行快速热处理。

2.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池的处理方法，其特征在于，所述对所述叠层进行快速热处理是在第一气体和氧气的气氛环境下进行，所述第一气体为惰性气体。

3.根据权利要求2所述的薄膜太阳能电池的处理方法，其特征在于，所述第一气体和所述氧气的流量比为θ，3≦θ≦5。

4.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池的处理方法，其特征在于，所述对所述叠层进行快速热处理是在真空度为0.01～0.05MP叠层的环境下进行。

5.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池的处理方法，其特征在于，所述对所述叠层进行快速热处理之前，还包括：

使用氮气或惰性气体吹扫所述加热器。

6.根据权利要求5所述的薄膜太阳能电池的处理方法，其特征在于，使用氮气或惰性气体吹扫所述加热器之后，所述对所述叠层进行快速热处理之前，还包括：

将所述加热器抽至真空状态。

7.根据权利要求6所述的薄膜太阳能电池的处理方法，其特征在于，所述对所述叠层进行快速热处理之后，还包括：

在真空条件下冷却所述叠层；

冷却完成后取出所述叠层。

8.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池的处理方法，其特征在于，所述快速热处理具体包括：以设定升温速度使所述加热器内的温度升至目标温度，并维持预设时长。

9.根据权利要求8所述的薄膜太阳能电池的处理方法，其特征在于，所述快速热处理具体为：以3℃/s～5℃/s的升温速度升至120～150℃后，维持2～5min。

10.一种薄膜太阳能电池的处理装置，包括具有收容空间的腔体，以及加热所述腔体的加热丝，其特征在于，还包括与所述加热丝相连的控制器，所述控制器控制加热丝的加热速度以及加热温度。

11.根据权利要求10所述的薄膜太阳能电池的处理装置，其特征在于，还包括：分别与所述腔体相连的第一气体气源和氧气气源，所述第一气体气源为惰性气体气源或氮气气源。

12.根据权利要求11所述的薄膜太阳能电池的处理装置，其特征在于，所述腔体上设置有与所述收容空间连通的进气口和出气口，所述进气口经由气路与所述第一气体气源和氧气气源连通，所述气路包括与所述氧气气源相连的第一气路、与所述第一气体气源相连的第二气路、将第一气路和第二气路连接至所述进气口的第三气路。

13.根据权利要求12所述的薄膜太阳能电池的处理装置，其特征在于，所述第一气路上设置有第一气阀，所述第二气路上设置有第二气阀。

14.根据权利要求13所述的薄膜太阳能电池的处理装置，其特征在于，所述第一气路上还设置有第一流量调节阀，所述第二气路上还设置有第二流量调节阀。

15.根据权利要求14所述的薄膜太阳能电池的处理装置，其特征在于，第三气路上设置有第三流量调节阀。

16.根据权利要求12所述的薄膜太阳能电池的处理装置，其特征在于，第三气路上设置有第三气阀。

17.根据权利要求12所述的薄膜太阳能电池的处理装置，其特征在于，还包括与所述出气口相连的抽真空装置。