[发明专利]吸附手、搬送机构及方法、成形装置及方法

说明书

本发明提供一种可将吸附对象物稳定地吸附保持的吸附机构、吸附手、搬送机构、树脂成形装置、搬送方法及树脂成形品的制造方法。吸附机构包括：设置有内部空间的支撑部、在内部空间中插入至少一部分且可在轴方向上移动的活塞杆、活塞杆与内部空间的底面之间的弹性构件、以及活塞杆的与弹性构件侧为相反的一侧的吸附垫。设置有将由吸附垫的本体部、吸附部及壁部所包围的空间、与内部空间进行流体连接的流路。在吸附对象物的吸附前，利用弹性构件的恢复力，吸附部可与吸附对象物接触。

技术领域

本发明涉及一种吸附机构、吸附手、搬送机构、树脂成形装置、搬送方法及树脂成形品的制造方法。

背景技术

例如，日本专利特开2013-42017号公报(专利文献1)中公开了一种在前端及根部侧的3个部位具备机械手的树脂模具(resin mold)装置，所述机械手形成有可吸附工件的外周的吸附孔以及与其连通的抽吸路径。

发明内容

近年来，板状构件(包含晶片)等吸附对象物的表面存在大面积化的倾向，故而吸附对象物的弯曲量也存在增大的倾向。然而，专利文献1中记载的机械手中，根据吸附对象物的弯曲的大小，存在无法将吸附对象物稳定地吸附保持的情况。

依据本文所公开的实施方式，可提供一种吸附机构，其包括：设置有内部空间的支撑部、在内部空间中插入至少一部分且可在轴方向上移动的活塞杆(piston rod)、活塞杆与内部空间的底面之间的弹性构件、活塞杆的与弹性构件侧为相反的一侧的吸附垫；并且吸附垫包括：本体部、在吸附着吸附对象物时与吸附对象物接触的吸附部、以及将本体部与吸附部连结的壁部；设置将由本体部、吸附部及壁部所包围的空间与内部空间进行流体连接的流路；且在吸附对象物的吸附前，利用弹性构件的恢复力，吸附部可与吸附对象物接触。另外，依据本文所公开的实施方式，可提供一种吸附机构，其包括：设置有内部空间的支撑部、在内部空间中插入至少一部分且可在轴方向上移动的活塞杆、活塞杆与内部空间的底面之间的弹性构件、以及活塞杆的与弹性构件侧为相反的一侧的吸附垫；并且吸附垫包括：本体部、在吸附着吸附对象物时与吸附对象物接触的吸附部、以及将本体部与吸附部连结的壁部；设置有将由本体部、吸附部及壁部所包围的空间与内部空间进行流体连接的流路；且将吸附部投影于内部空间的底面侧的面积大于将活塞杆的底面投影于内部空间的底面侧的面积。

依据本文所公开的实施方式，可提供一种吸附手，其包括所述吸附机构。

依据本文所公开的实施方式，可提供一种搬送机构，其包括：具备所述吸附机构的吸附手以及所述吸附手的移动单元。

依据本文所公开的实施方式，可提供一种树脂成形装置，其包括所述搬送机构及树脂成形机构。

依据本文所公开的实施方式，可提供一种搬送方法，其包括：使所述吸附手的吸附部与吸附对象物接触的步骤、将吸附对象物吸附的步骤、以及搬送所吸附的吸附对象物的步骤。

依据本文所公开的实施方式，可提供一种树脂成形品的制造方法，其包括：利用所述搬送方法来搬送吸附对象物的步骤以及将吸附对象物进行树脂密封的步骤。

本发明的这些及其他目的、特征、观点及优点是通过与附图关联来理解的本发明所涉及的以下详细说明而明确。

附图说明

图1是实施方式的吸附手的示意性平面图。

图2是沿着图1的II-II的示意性剖面图。

图3是实施方式的树脂成形装置的示意性平面图。

图4是对实施方式的树脂成形品的制造方法的制造步骤的一部分加以图解的示意性侧面图。

图5是对使吸附手的吸附部与吸附对象物接触的步骤的一例加以图解的示意性剖面图。

图6是图5所示的步骤的阶段的吸附机构的示意性剖面图。