[发明专利]一种漏电LED芯片的检测方法在审
申请号: | 201810993754.X | 申请日: | 2018-08-29 |
公开(公告)号: | CN109342915A | 公开(公告)日: | 2019-02-15 |
发明(设计)人: | 吴亦容;庄家铭;陈凯;赵兵 | 申请(专利权)人: | 佛山市国星半导体技术有限公司 |
主分类号: | G01R31/265 | 分类号: | G01R31/265;G01R31/26;G01R31/02 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 胡枫 |
地址: | 528200 广东省佛山市南海区狮*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 漏电 加热 检测 红外扫描 扫描区域 量子阱 成型 两极 扫描 芯片 | ||
本发明公开了一种漏电LED芯片的检测方法,包括以下步骤:对尺寸小于100微米的LED芯片进行加热,加热温度不高于LED芯片量子阱的成型温度;采用红外扫描的方法对加热后的LED芯片进行扫描,扫描区域上出现颜色的地方为漏电LED芯片。本发明的检测方法可对尺寸小于100微米的Micro LED进行检测,不需要接触芯片的两极,漏电LED芯片检测率高。
技术领域
本发明涉及发光二极管技术领域,尤其涉及一种漏电LED芯片的检测方法。
背景技术
Micro LED作为一项新兴技术,Micro LED既继承了OLED的高效率、高亮度、高可靠度及反应时间快等特点,又具有自发光无需背光源的特性。
传统LED芯片漏电检测方式是采用点测机进行检测,点测机检测过程为机器将蓝膜真空吸附固定后,其视觉系统对蓝膜上的LED晶粒进行全片扫描,得到LED晶粒的逻辑位置图(MAP),根据LED晶粒的物理位置,将待测的LED晶粒移动到测针下,使LED晶粒的两极与探针接触,提供测试回路。
但由于Micro LED芯片面积过小,尺寸一般小于100微米,测针难以与Micro LED芯片的两极接触,容易出现漏测或者检测不正常。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于,提供一种漏电LED芯片的检测方法,可对尺寸小于100微米的Micro LED进行检测,不需要接触芯片的两极,漏电LED芯片检测率高。
本发明所要解决的技术问题在于,提供一种漏电LED芯片的检测方法,操作简单,效率高。
为了解决上述技术问题,本发明提供了一种漏电LED芯片的检测方法,包括以下步骤:
对尺寸小于100微米的LED芯片进行加热,加热温度不高于LED芯片量子阱的成型温度;
采用红外扫描的方法对加热后的LED芯片进行扫描,扫描区域上出现颜色的地方为漏电LED芯片。
作为上述方案的改进,LED芯片的加热温度为100-650℃。
作为上述方案的改进,LED芯片的加热温度为300-600℃。
作为上述方案的改进,LED芯片的加热温度为500-600℃。
作为上述方案的改进,LED芯片的尺寸为30-100微米。
作为上述方案的改进,LED芯片的尺寸为30-60微米。
作为上述方案的改进,采用红外光显微镜对加热后的LED芯片进行扫描,红外光显微镜上显示颜色的地方为漏电LED芯片。
作为上述方案的改进,所述LED芯片为倒装LED芯片或垂直LED芯片。
作为上述方案的改进,对尺寸小于100微米的LED芯片进行加热的方法包括:将LED芯片放在烤盘上,然后将装有LED芯片的烤盘放在烤箱内进行加热。
作为上述方案的改进,所述烤盘为透明烤盘。
实施本发明,具有如下有益效果:
本发明将LED芯片进行加热,其中,有缺陷的LED芯片(漏电LED芯片)经高温加热后,放电放热会聚集在缺陷区域,然后对LED芯片进行红外扫描,由于漏电LED芯片的热量聚集在缺陷区域,LED芯片自发光谱,通过红外扫描,就可以检测出哪些LED芯片存在缺陷,从而检测出漏电LED芯片。具体的,在显示界面上漏电LED芯片的地方会显示颜色,正常LED芯片的扫描显示区域为黑白色。本发明的检测方法可对尺寸小于100微米的Micro LED进行检测,不需要接触芯片的两极,准确率高。
附图说明
图1是本发明一种漏电LED芯片的检测方法流程图;
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佛山市国星半导体技术有限公司,未经佛山市国星半导体技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201810993754.X/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。